一種新型微機械紅外熱探測器的吸收層
2005-04-29 00:44:03梁晉濤劉君華張進永
西安交通大學學報 2005年8期
梁晉濤 劉君華 張進永
摘要：在對新型微機械懸臂梁紅外熱探測器進行理論建模的基礎上，研究了一種適合于此種紅外熱探測器的吸熱層材料——碳納米管．利用碳納米管的紅外吸收特性，在微機械懸臂梁上生長碳納米管薄膜作為吸熱層，提高了微機械懸臂梁紅外探測器的紅外吸收能力．研究結果表明，選用碳納米管薄膜作為微機械懸臂梁紅外熱探測器的吸熱層比選用傳統的紅外吸收層材料探測分辨率提高了10％，這種基于微電子機械系統技術的傳感器與集成電路工藝是兼容的，成本低廉且適合批量生產．
關鍵詞：紅外熱探測器；微機械；碳納米管
中圖分類號：TN202文獻標識碼：A文章編號：0253—987X(2005)08—0856—03
