新型ＨＥＨＳ器件－光柵光閥（ＧＬＶ）的原理及應(yīng)用

MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))器件可同時(shí)結(jié)合機(jī)械功能和電子電路，一般采用半導(dǎo)體工藝來(lái)制造從微米到毫米級(jí)的器件。MEMS器件的應(yīng)用范圍非常廣泛，包括傳感器、液體力學(xué)、光學(xué)、RF、存儲(chǔ)和生物技術(shù)應(yīng)用。