一種微波探針可靠性測試系統設計

谷帆，詹永衛，唐昱龍

（中電科思儀科技股份有限公司，山東青島，266555）

0 引言

隨著微波射頻技術的快速發展，微電子產品的集成度在不斷提高，微波集成電路的測試需求也越來越大。在射頻、微波探針應用之前，對未貼裝的單片微波集成電路缺乏科學有效的測試方法，測試過程往往會導致電路表面受損，功能完整性無法保障。而在片測試技術的應用能夠直接測量芯片器件的電氣特性和元件參數，微波探針可以作為微波集成電路在片測試的重要工具。在微波探針研制生產過程中，需要一種測試方法和系統實現探針產品的可靠性驗證和測試。

1 虛擬儀器技術

2 系統設計與實現

■2.1 系統設計原理

該測試系統設計包含硬件和軟件兩部分，其中系統硬件部分主要包括工控計算機、矢量網絡分析儀、自動插拔力測試機改裝的運動平臺、GPIB 控制卡、光學顯微鏡等，軟件部分以LabVIEW 開發平臺為基礎，GPIB 接口總線，基于VISA 庫和標準化SCPI 指令集，建立軟硬件通信，配置測試參數，實現被測件S 參數連續測量，記錄和分析測試數據。微波探針可靠性測試系統的組成框圖如圖1 所示。

圖1 系統組成框圖

■2.2 系統硬件設計

工控計算機通過GPIB 控制卡與矢網連接，以控制測試狀態和讀取解析數據；通過USB 連接光學顯微鏡，用于測試前輔助初始位置參數的確定，和觀察測試前后觸點變化；通過COM 與自動插拔力測試機改裝的運動平臺通訊，傳遞參數和觸發運動。

2.2.1 工控計算機

工控計算機采用研華科技610L，主要用來安裝LabVIEW 開發平臺和插拔力測試機、光學顯微鏡等的控制程序。……