基于光電融合的一體化多參量傳感器及其制備方法

申請?zhí)? 202310512850.9

【申請日】2023.05.09

【公開號】CN116295656A

【公開日】2023.06.23

【分類號】G01D21/02;G01K7/18;G01L1/24;G01D5/24

【申請人】之江實驗室

【發(fā)明人】王珊; 王嘯宇; 王琪; 張磊

【摘 要】本發(fā)明公開了一種基于光電融合的一體化壓力/溫度/接近多參量傳感器及其制備方法。包括基于光學機制的柔性光波導和卷繞在其上的基于電學機制的柔性叉指電極薄膜，其中柔性光波導由兩根插入到硅膠管中且相隔距離的光纖構成。該傳感器借助光電融合的多維度響應信號實現(xiàn)壓力-溫度-接近三參量的自解耦無串擾感知，壓力通過光波導損耗以光強的形式測量，溫度通過電極的熱阻效應以電阻的形式測量，物體接近通過叉指電極邊緣電場以電容的形式測量。本發(fā)明可同時監(jiān)測壓力、溫度和接近，并且沒有信號串擾，結構緊湊，制備簡單，無需復雜的系統(tǒng)集成和解耦算法，具有廣闊的應用前景。