準分子激光低抖動延時同步系統

胡澤雄, 游利兵, 寸超, 王宏偉, 范軍,王琪, 張艷琳, 方曉東,3

(1 中國科學技術大學環境科學與光電技術學院, 安徽 合肥 230026;2 中國科學院合肥物質科學研究院安徽光學精密機械研究所,安徽省光子器件與材料重點實驗室, 安徽 合肥 230031;3 深圳技術大學新材料與新能源學院, 廣東 深圳 518118;4 合肥工業大學電子科學與應用物理學院, 安徽 合肥 230009;5 深圳盛方科技有限公司, 廣東 深圳 518173)

0 引 言

準分子激光器是目前紫外波段輸出功率最大的激光器件,在工業、醫療、科研等領域均有廣泛的應用。在科研領域中,準分子激光器可用于材料科學、表面科學和光譜學等學科的研究,如激光剝蝕、激光誘導熒光、脈沖激光沉積;在工業領域中,其主要集中應用于微加工和材料表面改性等方面,如半導體光刻、低溫硅退火、高密度電路板制作以及布拉格光柵制作等;在醫療領域中,準分子激光器主要應用于眼科和皮膚病治療[1]。準分子激光器具有寬頻帶和工作介質密度低等特性,在放大超短脈沖方面表現出獨特的優勢。固體摻鈦藍寶石激光器輸出紅外飛秒脈沖,將該脈沖直接進行頻率轉換或將其先進行放大再利用頻率轉換技術可得到紫外脈沖激光,將該紫外脈沖激光作為種子光,再利用準分子激光器實現放大,可將微焦量級飛秒紫外激光脈沖放大到毫焦級大能量輸出。而準分子激光器作為放大器實現對種子光的放大,要求飛秒激光器和準分子激光器在時間上精確同步,即種子光與準分子激光的快放電同步,從而使種子光進入準分子激光器時處于最佳增益狀態[2]。……