氣相色譜法分析六氟丁二烯中的6種氣相雜質

張中慧，馮海波，鄭秋艷，郭 君，張天鵬，李帥楠

(中國船舶重工集團公司 第七一八研究所，河北 邯鄲 056027)

1 前 言

六氟丁二烯與其他傳統含氟氣體相比，其全球變暖潛力(GWP)值較低，在大氣中的壽命較短，是一種比較綠色環保的含氟氣體。應用市場廣泛，不僅可作為合成樹脂的原料和氟聚合物的單體，還可在半導體行業中作為電子蝕刻氣，具有選擇性好、蝕刻速度適中、深寬比較高的優點，適用于高精度的VLSI蝕刻工藝[1-3]。

在半導體元件生產過程中，氣體的純度直接影響其生產工藝和產品質量，所以建立高效、可靠的雜質分析方法是保證電子特氣質量尤為關鍵的一步[4]。電子氣體雜質檢測中氣相色譜法的應用較為廣泛，該方法可以檢測出多種永久性氣體組分和一些碳氫化合物[5]，本實驗利用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀對C4F6產品中雜質的分析方法進行探究，對工作條件和氣路系統進行了優化，對6種雜質進行定性、定量的分析，為此類產品的雜質檢測分析提供參考。

2 實驗儀器和材料

檢測儀器使用配備氦離子化檢測器的氣相色譜儀，型號為GC-9560；載氣用純度為99.999%的高純氦氣；標準氣體組分為6種氣體，以氦氣為平衡氣，標準氣的組分及含量如表1所示；儀器所用的4根色譜柱型號和規格如表2所示。

表1 標準氣體組分及含量Table 1 Composition and content of standard gas

表2 色譜柱型號及規格Table 2 Model and specification of chromatographic column

3 實驗部分

3.1 氣路布置

由于六氟丁二烯信號很強，峰值很高，直接進入檢測器會對儀器產生不良的影響，需要加入反吹系統將六氟丁二烯反吹出系統。……