一種無線無源聲表面波壓力傳感器及其制備方法

申請號: 202111488949.7

【申請日】2021.12.07

【公開號】CN114136507A

【公開日】2022.03.04

【分類號】G01L1/16; G01L9/08

【申請人】中國電子科技集團公司第四十八研究所

【發明人】車顏賢;曾慶平;宋軼佶;何峰

【摘 要】本發明公開了一種無線無源聲表面波壓力傳感器及其制備方法，包括襯底，所述襯底的中部位置設置有壓力空腔；所述襯底的上表面設有壓電薄膜，所述壓電薄膜的上表面設置有第一聲表面波器件，所述壓電薄膜的下表面設置有第二聲表面波器件，所述第一聲表面波器件和第二聲表面波器件均為壓力感應器件且正對于所述壓力空腔，SAW傳播方向沿所述壓電薄膜長度方向。制備方法為：在壓電薄膜基片的兩側制備第一聲表面波器件和第二聲表面波器件；在硅片上制備壓力空腔，形成襯底；將聲表面波器件與具有壓力空腔的硅片進行鍵合，得到聲表面波壓力傳感器。本發明具有高靈敏度及高分辨率等優點。