具有子圓環的圓環金屬網柵電磁屏蔽特性

張博文，張怡蕾，陸振剛,3?

(1. 哈爾濱工業大學 超精密光電儀器工程研究所；2. 超精密儀器技術及智能化工業和信息化部重點實驗室: 哈爾濱 150006；3. 強脈沖輻射環境模擬與效應國家重點實驗室，西安 710024)

近年來，隨著不同波段的電磁波在雷達無線通信和便攜式電子設備等領域的廣泛應用，人們所處的電磁環境日益復雜。無處不在的電磁波會影響人們的健康和儀器設備的可靠性與穩定性[1-4]，尤其是在航空、軍事和醫療器械等領域，儀器設備精度極高，更易受到電磁波干擾的影響，導致結果精度不佳甚至設備失效[5-7]，這使電磁屏蔽技術日益引起人們的廣泛關注和重視。光學透明器件的電磁屏蔽是其中一項難題，以光窗等透明器件為例，目前所提出的解決方法包含透明導電薄膜[8]、頻率選擇表面[9-10]及金屬網柵[11-12]等。與其他技術相比，金屬網柵可實現可見光至紅外寬波段良好的透光性及較強的微波波段電磁屏蔽效率。同時，以光刻技術為代表的金屬網柵加工工藝已成熟，可進行大批量生產，成為近年來的研究和應用熱點之一[12-17]。

金屬網柵的圖形形態及結構參數將會影響透光性及電磁屏蔽性能，已由最早，也是最經典的方格網柵逐步演變為圓環網柵及6邊形網柵等復雜結構[17-19]。網柵周期作為金屬網柵最重要的結構參數，直接決定了網柵的電磁屏蔽效率。對結構復雜的金屬網柵，往往采用等效周期來代替實際周期進行屏蔽效率的理論計算?！?br>