準分子激光器在鉆孔中的應用

羅士達

[摘? ? 要]隨著5G技術的來臨，手機等電子產品持續向著輕薄化的方向發展，市場對芯片與PCB電路微型化的需求加劇，小于20 μm，甚至10 μm以內的鉆孔需求越來越多，傳統的CO2激光器只能處理50 μm以上的鉆孔，而DPSS則只能處理20 μm以上的鉆孔，準分子激光器則可以完成這類微型孔徑的鉆孔，而且錐度可達9°。而新一代高密度芯片與PCB的主流發展方向是基于玻璃基板制作，準分子激光器也被試驗證實，適用于此類玻璃載板的鉆孔。

[關鍵詞]準分子激光;鉆孔;玻璃貫通電極（TGV）;深度控制;玻璃載板

[中圖分類號]TN248 [文獻標志碼]A [文章編號]2095–6487（2021）05–00–03

Application of Excimer Laser in Drilling

Luo Shi-da

[Abstract]With the advent of 5g， mobile phones and other electronic products continue to develop to thin， the market demand for chips and PCB circuit miniaturization is increasing， less than 20% μm. Even 10 μm The traditional CO2 laser can only process more than 50 μm holes， while DPSS can only process more than 20 μm holes. Excimer laser can complete this kind of micro aperture drilling， and the taper can reach 9°.The mainstream development direction of the new generation of high-density chip and PCB is based on glass substrate. Excimer is also confirmed by experiments， which is suitable for drilling such glass carrier.

[Keywords]excimer laser; Drilling; Glass through electrode （TGV）; Depth control; Glass carrier

隨著技術的發展，芯片微型化的需求加劇，市場催生出越來越多的微加工需求，而無論是在半導體芯片上不斷向更小的納米線寬進發，還是在手機上向5G和超薄進發，都深深依賴于加工設備的微處理能力。新生技術需要越來越小的孔，越來越細的切割線，越來越復雜的雕刻結構。而這一切都不再是不斷縮短脈寬就能夠解決的。這些需求需要的是不斷向深紫外進發的波長：351 nm（XeF），308 nm（XeCl），248 nm（KrF），193 nm（ArF），157 nm（F2）。衍射極限決定了激光挖孔直徑變小的極限，波長與衍射極限正相關，波長越短，衍射極限也就越小，所能聚焦的光斑也就越小，從而實現更高精度的激光加工。不光是在電子消費市場，半導體、醫療、汽車等領域都對微米級的微加工提出了更多需求。

1 準分子激光器鉆孔方案

準分子激光器可以與DPSS一樣，搭配掃描振鏡工作，但在絕大多數應用不會采用振鏡掃描的方式，在一些應用中會整形成特殊形狀或者拉成一條線，對大幅面產品進行掃描，如OLED加工中的ELA（Excimer Laser Annealing）。通過準分子激光器對顯示面板進行整行掃描，將單晶硅轉化為多晶硅，極大地提升顯示效果。在其他更多應用中，則是采用Mask（掩膜版）的方式進行加工，如圖1所示。在準分子的鉆孔應用中正是使用這種掩膜版鉆孔的方式。準分子激光器發出深紫外激光，經過掩膜版塑形，隨后聚焦后被加工樣品吸收，此類樣品通常由上下兩層或者以上組成。下層為基底或者導體，上層則通常為聚合物。顯示、芯片、3C等行業所需鉆孔的樣品多為此類結構。

準分子激光器在鉆孔中有幾個優勢：①準分子波長在深紫外，聚焦的光斑更小，鉆出孔的直徑更小;②同樣是因為波長短，其能加工的材料也就更多，許多在可見波段、紅外波段高透射的材料，往往在深紫外都有極高的吸收率，比如玻璃。③使用掩膜版的方式加工，就像是“蓋章”，每一次脈沖或者加工得到的效果都一樣，一致性非常高。除此之外，準分子激光器還有深度可控以及不傷基底等優勢。

詳細的準分子激光系統光路如圖2所示。

（1）準分子激光器：在鉆孔中通常會選用193 nm或者248 nm，并根據需求選擇不同能量的激光器，選擇這兩個波長的主要原因是考慮到不同材料的吸收率，在這兩個波長通常接近100%。在能量上，以相關公司為例，提供10 mJ～5 J的激光器可供選擇。且準分子激光器不需要倍頻，直接產生深紫外激光，相對于DPSS激光器，性能更加穩定。

（2）衰減器：由于準分子激光的輸出能量較大，針對某些材料需要使用衰減器進行能量衰減。

（3）擴束器：同樣是因為準分子激光器輸出能量較大，可以實現大面積的同時加工，在搭建系統的過程中通常會將準分子激光進行擴束，從而覆蓋更大的加工面積。

（4）光斑勻化器：通常會使用2n+1的柱透鏡陣列來實現，準分子激光器輸出的光斑原本就是近似平頂光斑，而經過勻化器之后，光斑會變的更加均勻，從而進一步提升加工的一致性和精度。

（5）掩膜版：激光系統加工的主要部件，通常使用鉻版制作。準分子激光經過掩膜版后形成所要加工的形狀。

（6）聚焦鏡頭：鏡頭將塑形后的準分子激光按照比例縮放到合適的大小，隨后對產品進行加工。

2 準分子激光器鉆孔的試驗結果與優勢

通過對上述光路的分析，使用準分子激光器對不同的材料進行加工，實現了最低1 μm的鉆孔直徑。

如圖3（a）所示，通過對5 μm厚的聚合物鉆孔，實現了3 μm的鉆孔直徑。針對25 μm厚的PI層，實現了1μm的直徑的鉆孔。針對WPR5100在RDL結構內實現了15 μm的鉆孔。

首先是鉆孔直徑，準分子激光器實現了低于15 μm，甚至到1 μm的鉆孔直徑。在鉆孔應用之中，CO2激光器通?？梢詫崿F60～130 μm直徑的鉆孔，DPSS激光器可以實現25～75 μm直徑的鉆孔。而準分子卻可以實現1～30 μm直徑的鉆孔。

如圖4所示，準分子激光在鉆孔中，脈沖數與鉆孔深度幾乎成線性關系。經過大量測試，準分子激光器的單個脈沖移除深度一致，根據脈沖能量與材料的不同，為50～1000 nm。

準分子激光器每個脈沖都會消融定量的厚度，可以通過脈沖數，可精確地控制鉆孔深度。典型的準分子激光消融效率為0.3 μm/pulse，若預期鉆孔深度為6 μm。所需脈沖數計算方式為：

5 μm深度/0.30 μm消融率=20個脈沖

通過20個脈沖即可嚴格控制鉆孔深度，一致性高。同理，只要是確定了消融率與鉆孔深度，通過簡單的脈沖數計算，即可嚴格控制鉆孔深度。

準分子激光由于是平頂光斑，鉆孔錐度天然較高，而且基于大量的試驗證實，脈沖能量越大，鉆孔錐度越小。如圖5所示，當脈沖能量密度為376 mJ/cm2，經過45個脈沖實現7 μm的鉆孔厚度，錐度為25°，當能量密度為822 mJ/cm2，鉆孔錐度為16°，當能量密度為1200 mJ/cm2，鉆孔錐度則達到了9°。DPSS激光器由于其高斯波前，無法實現這樣的自然鉆孔錐度。

同樣由于準分子為平頂光斑，以及準分子激光器的選擇性消融，準分子激光器在消融的過程中可以做到不傷基底。如圖6所示，在消融上層聚合物的過程中，充分移除了上層的聚合物，卻并不會破壞下層的銅板。

在精密鉆孔過程中，CO2與DPSS激光器通常對銅板上最后的10 μm束手無策，需要使用其他方式進行移除，若是過度鉆孔，會傷到基底。而準分子激光器卻不受此困擾?？梢酝耆诰酆衔铮⒋_保銅板基底不會受到傷害。

3 下一代玻璃載板芯片的鉆孔

隨著電子科技的向前發展，半導體正從二維的電路板和芯片向三維發展。2.5D、3D封裝也不斷涌現。而玻璃載板由于其成本

低、剛性強、表面平整度高等優勢，被認為是下一代芯片的理想載板。經過不斷的研究，玻璃載板還具有極為優秀的電學性能，讓其更加適合高密度的2.5D與3D封裝。同時，也有研究表明，玻璃基的RDL（Redistribution Layer）由于介電常數低，在高頻時相較于硅基更加優良。

而準分子激光器在TGV（玻璃通孔）/TPV（熱塑性硫化橡膠）中鉆孔中表現出良好的效果，并且已經通過HAST（老化測試）。

如圖7所示，玻璃對可見和紅外的透過率通常很高，而在深紫外尤其是小于210 μm時透過率已經接近于零，吸收率非常高。

無論是有堿玻璃還是無堿玻璃在準分子193 nm波長附近的吸收率都接近了100%。所以193 nm極為適合用來對玻璃進行鉆孔。

如圖8（a）所示，通過193 nm準分子對100 μm厚的玻璃鉆通孔，入孔直徑為20 μm，出孔直徑為16 μm。錐度極好，通過顯微鏡對側剖面的觀察，孔壁十分光滑，沒有微米級的損傷?？咨畋龋▽？厣疃瘸糟@孔直徑）超過了5。而對比圖8（b），通過355 nmDPSS激光器鉆孔的結果則更像是一個不規則的火山口，入孔直徑157 μm，出孔直徑92 μm，無論是入孔還是出孔的結構都不規則，孔壁也不光滑，損傷較大，且不可控。由此可見，無論是從鉆孔的精度控制，能實現的鉆孔的最小孔徑，錐度還是表面光滑程度來對比，準分子激光器都遠遠領先于DPSS激光器。更適合玻璃載板鉆孔的應用。

除此之外，還發現了準分子激光器的另外一個優勢。通過準分子激光器處理的玻璃表面得到了活化，更適合做銅離子的沉積，這也極大地方便了后道工序的進行。

無論是193 nm的波長、平頂光斑、表面活化還是衍射極限，等等，準分子在玻璃載板的處理中都表現出了充分的優勢。

4 結語

準分子激光器產生的深紫外激光對絕大多數的材料來講，吸收率都很高，這讓準分子激光適用于絕大多數材料的鉆孔。經過試驗的測試和驗證，準分子激光衍射極限更小，可以處理更精細的鉆孔，孔徑最低可達1 μm，滿足電子芯片越來越密集與精細的要求。同時相對于其他類型激光器，準分子激光器不但處理的孔徑更小、錐度更小，還能實現厚度可控、不傷基底，甚至實現表面活化的效果。掩膜版的加工方式讓準分子的加工一致性、穩定性、可控性更加優良，適用大規模生產。以上種種優勢都在準分子激光的玻璃載板鉆孔中得到印證，為即將到來的高密度芯片時代做好技術準備。

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