
針對(duì)硅基電熱MEMS安保作動(dòng)機(jī)構(gòu)解除保險(xiǎn)方式單一且不易感知低環(huán)境力的技術(shù)難點(diǎn),西安交通大學(xué)與陜西應(yīng)用物理化學(xué)研究所將機(jī)械環(huán)境力解保與電熱力解保相結(jié)合,提出了低g值慣性延時(shí)電熱安保裝置,并將其與MEMS火工品序列結(jié)構(gòu)集成設(shè)計(jì)。在安全狀態(tài)下,齒輪組被電熱鎖銷機(jī)構(gòu)鎖定,硅隔板無(wú)法移動(dòng),保證含能藥劑與序列不對(duì)正,不會(huì)意外發(fā)火;當(dāng)接收到解保信號(hào)后,電熱鎖銷機(jī)構(gòu)在電信號(hào)(10 V直流電壓)的控制下解除對(duì)齒輪組的鎖定,此后,在達(dá)到設(shè)計(jì)的慣性力驅(qū)動(dòng)下,硅隔板移動(dòng)。當(dāng)隔板移動(dòng)到發(fā)火位置后,電熱鎖銷機(jī)構(gòu)重新鎖死齒輪組,完成解保動(dòng)作,由安全狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榘l(fā)火狀態(tài)。試驗(yàn)表明:該裝置可在10 g環(huán)境力(持續(xù)時(shí)間約700 ms)作用下,實(shí)現(xiàn)560 ms延時(shí)輸出,輸出位移可達(dá)1.5 mm。裝置尺寸為10 mm×10 mm×0.28 mm,抗過(guò)載能力為10000 g。
源自:胡騰江,任煒,趙玉龍.低g值慣性延時(shí)電熱MEMS安全與解除保險(xiǎn)裝置[J].探測(cè)與控制學(xué)報(bào),2020,42(05):21-26.
西安電子科技大學(xué)與中國(guó)工程物理研究院所聯(lián)合提出了一種具備雙穩(wěn)態(tài)功能的低g值慣性開(kāi)關(guān),該器件主要由雙穩(wěn)態(tài)彈簧以及質(zhì)量塊組成,利用深干法刻蝕技術(shù)與鍵合工藝,在SOI基底上實(shí)現(xiàn)了器件的制備。該器件結(jié)構(gòu)中的雙穩(wěn)態(tài)梁結(jié)構(gòu)在8 g與105 g的加速度作用下,分別可以實(shí)現(xiàn)自鎖與反向解鎖的功能,具備可重復(fù)使用、狀態(tài)自我保持的特征。……