一種肖特基二極管氫氣傳感器芯體

申請?zhí)? 202110155170.7

【公開號】CN112858440A

【公開日】2021.05.28

【分類號】G01N27/414

【申請日】2021.02.04

【申請人】哈爾濱工業(yè)大學

【發(fā)明人】方海濤;李瑞武;李思佳

【摘 要】本發(fā)明公開了一種肖特基二極管氫氣傳感器芯體。所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體由4層結(jié)構(gòu)和導(dǎo)電引線構(gòu)成，4層結(jié)構(gòu)依次是氫氣裂解金屬層、羥基擴散阻隔層、半導(dǎo)體層和集流體層，從氫氣裂解金屬層和集流體層分別引出導(dǎo)電引線。本發(fā)明中所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體具有室溫下抗?jié)穸雀蓴_的特殊性能，室溫下氣體環(huán)境中的水蒸氣不會降低所述肖特基二極管氫氣傳感器芯體對氫氣的靈敏度，克服了現(xiàn)有無羥基擴散阻隔層的普通氫氣裂解金屬層/半導(dǎo)體層肖特基二極管氫氣傳感器芯體在室溫下濕度降低其氫敏性能的缺點。