一種陶瓷電容式壓力傳感器壓力檢測(cè)系統(tǒng)及其測(cè)試方法

申請(qǐng)?zhí)? 202110147503.1

【公開(kāi)號(hào)】CN112857627A

【公開(kāi)日】2021.05.28

【分類號(hào)】G01L1/14; G01L9/12

【申請(qǐng)日】2021.02.03

【申請(qǐng)人】江蘇大學(xué)

【發(fā)明人】劉桂武;陸浩杰;邵海成;喬冠軍;王立朋;張相召

【摘 要】本發(fā)明公開(kāi)了一種陶瓷電容式壓力傳感器壓力檢測(cè)系統(tǒng)及其測(cè)試方法。檢測(cè)系統(tǒng)包括高壓氣泵、可調(diào)壓容艙、膜片夾具及后端電路檢測(cè)系統(tǒng)。該系統(tǒng)的可調(diào)壓容艙設(shè)有一組進(jìn)氣通道、4組測(cè)試通道及氣壓顯示端口，進(jìn)氣通道與測(cè)試通道均設(shè)有閥門(mén)裝置；膜片夾具設(shè)有放置陶瓷膜片及調(diào)理電路板的凹腔，凹腔內(nèi)設(shè)置O形密封圈，密封夾具一端設(shè)置帶導(dǎo)線通孔的尼龍封蓋，另一端設(shè)有螺紋連接頭；后端電路檢測(cè)系統(tǒng)包括信號(hào)采集裝置及軟件控制窗口。本發(fā)明具有快速封裝、操作簡(jiǎn)便、多線程測(cè)量、可橫向比對(duì)標(biāo)定的優(yōu)點(diǎn)，可用于電容式壓力傳感器的快速封裝及測(cè)試。