互補金屬氧化物半導體圖像傳感器以及制備方法

申請號: 202110489973.6

【公開號】CN112992954A

【公開日】2021.06.18

【分類號】H01L27/146

【申請日】2021.05.06

【申請人】上海芯物科技有限公司

【發明人】周雪梅;陳鴻

【摘 要】本發明公開了一種互補金屬氧化物半導體圖像傳感器以及制備方法。該互補金屬氧化物半導體圖像傳感器包括第一襯底，第一襯底的第一表面設置有感光區和像素電路區；N個像素單元，像素單元包括光電二極管和像素電路，像素電路位于像素電路區，包括第一柵極結構和懸浮漏極，光電二極管與懸浮漏極電連接；導電互連單元覆蓋第一襯底的第一表面，用于將像素單元的電信號引出；第二襯底位于導電互連單元，遠離第一襯底一側的表面；光反射電容單元位于第二襯底的表面，與懸浮漏極電連接。該技術方案提高了圖像傳感器獲取的圖像的真實度。