一種光學(xué)加速度傳感器及加速度傳感器系統(tǒng)

申請?zhí)?202110107185.6

【公開號】CN112782424A

【公開日】2021.05.11

【分類號】G01P15/03

【申請日】2021.01.27

【申請人】寧波正業(yè)自動化科技有限公司

【發(fā)明人】吳迅奇;朱潔瓊

【摘 要】本發(fā)明提供了一種光學(xué)加速度傳感器及加速度傳感器系統(tǒng)，所述光學(xué)加速度傳感器包括：傳導(dǎo)光纖，其內(nèi)部傳導(dǎo)光波；半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，其上刻蝕布拉格光柵，且與所述傳導(dǎo)光纖對準(zhǔn)，對射入的光波進(jìn)行調(diào)制后反射回所述傳導(dǎo)光纖；振動組件，其與所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)連接，感應(yīng)被測物體的振動并傳遞給所述布拉格光柵。這樣，將半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)和傳導(dǎo)光纖分離開來設(shè)置，需要封裝的時候，直接對半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)進(jìn)行封裝，解決了光纖彎曲半徑過小，封裝成傳感器尺寸過大的問題；另外，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)更為穩(wěn)固，所以解決了布拉格光纖光柵易脆易斷，無法測量高頻振動信號的問題。