集成電路行業(yè)環(huán)境影響評價管理及對策建議

喬 皎 賈 寧 楊 愷 杜蘊慧 雷 蕾 夏邦壽

(1.生態(tài)環(huán)境部環(huán)境工程評估中心，北京 100012；2.中國航空規(guī)劃設計研究總院有限公司，北京 100120；3.福建省金皇環(huán)保科技有限公司，福建 福州 350001；4.信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司，四川 成都 610021)

隨著經(jīng)濟的發(fā)展以及集成電路行業(yè)相關政策的促進，我國集成電路行業(yè)銷售額持續(xù)穩(wěn)步增長，成為了關系我國經(jīng)濟和社會發(fā)展的基礎性和先導性產(chǎn)業(yè)之一[1]。集成電路芯片制造是集成電路行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈中的主要產(chǎn)污環(huán)節(jié)，其生產(chǎn)工藝步驟多達一二百步，而且精度要求高，工藝復雜，使用多種有毒有害的化學品，包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸等各類酸，氨水[2]、氫氧化鉀等各類堿，丙酮、異丙醇、醋酸丁酯、N-甲基四氫吡咯酮(NMP)等各類有機化學品，等等。使用的大多有毒有害化學品只是作為原輔材料，極少進入最終產(chǎn)品，因此絕大部分就變成了污染物排放。

在國家“放管服”改革的大背景下，集成電路行業(yè)建設項目環(huán)境影響評價(以下簡稱環(huán)評)已簡化為僅需編制環(huán)評報告表，且下放到了省級及以下地方生態(tài)環(huán)境部門審批，因此基層生態(tài)環(huán)境部門尤其是作為最低一級生態(tài)環(huán)境部門的縣級生態(tài)環(huán)境部門，承擔起了前所未有的審批壓力[3]，在執(zhí)行行政審批時對政策文件的理解和技術規(guī)范的把握存在很多困惑。

本研究聚焦我國集成電路行業(yè)環(huán)評管理現(xiàn)狀，在收集的2016—2018年全國200多個集成電路行業(yè)建設項目環(huán)評文件中篩選出了69個具有代表性的文件，在地方各級生態(tài)環(huán)境部門官方網(wǎng)站收集了一些地方分級審批、規(guī)劃環(huán)評、標準規(guī)范等相關政策文件。目前，我國集成電路芯片制造以6英寸及以上的大尺寸芯片為主[4]，本研究篩選的69個具有代表性的文件覆蓋了我國6英寸及以上大尺寸集成電路芯片制造企業(yè)的80%。地方各級生態(tài)環(huán)境部門官方網(wǎng)站收集的相關政策文件基本反映了目前國內(nèi)地方各級生態(tài)環(huán)境部門對集成電路行業(yè)建設項目環(huán)評的管理水平。通過對上述資料的分析，針對目前在分類管理和分級審批、與規(guī)劃環(huán)評銜接、建設項目重大變動、執(zhí)行標準規(guī)范適用性等方面存在的問題，提出了對策建議，為解決基層生態(tài)環(huán)境管理部門環(huán)評審批遇到的問題和困惑、進一步加強環(huán)評“放管服”事項、優(yōu)化調整環(huán)評管理制度等提供參考依據(jù)。

1 集成電路行業(yè)環(huán)評管理現(xiàn)狀及存在的問題

1.1 建設項目環(huán)評分類管理混亂與分級審批不均

自2008年以來，生態(tài)環(huán)境部(包括原環(huán)境保護部)發(fā)布過4版《建設項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》(以下簡稱《名錄》)，其中集成電路建設項目的環(huán)評文件的分類類別在每一版中都會調整。2008年版《名錄》規(guī)定含前工序的集成電路建設項目需要編制的是環(huán)評報告書；2015年版《名錄》規(guī)定集成電路建設項目都只需編制環(huán)評報告表；2017年版《名錄》又要求含前工序的集成電路建設項目編制環(huán)評報告書；2018年版《名錄》重新恢復了都只需編制環(huán)評報告表。但通過收集到的69個具有代表性的文件統(tǒng)計分析發(fā)現(xiàn)，由于前工序產(chǎn)廢量大，且生產(chǎn)工藝可能涉及電鍍，上海、北京、四川等地在《名錄》不要求編制環(huán)評報告書的時候仍要求含前工序的集成電路建設項目環(huán)評報告表增加大氣、水、環(huán)境風險等專題評價，內(nèi)容的復雜程度已類似于環(huán)評報告書，甚至有少部分地區(qū)仍然要求涉及電鍍的項目編制環(huán)評報告書。盡管含前工序的集成電路建設項目污染物排放強度遠高于只有封裝測試工序的集成電路建設項目，然而從69個具有代表性的文件數(shù)據(jù)統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，含前工序的集成電路建設項目只有32個，這是因為現(xiàn)行的《名錄》不對集成電路建設項目是否含有前工序進行有差別的分類管理。

國家級、省級和市級生態(tài)環(huán)境部門均制定了建設項目環(huán)評文件分級審批相關政策文件，規(guī)定了各自的審批權限。通過對收集到的31個省級生態(tài)環(huán)境部門的分級審批相關政策文件進行統(tǒng)計發(fā)現(xiàn)，目前全國29個省份的集成電路建設項目的審批權限主要集中在市級或縣級，僅北京、四川主要集中在省級。考慮到目前我國集成電路行業(yè)主要分布在長三角地區(qū)、中西部地區(qū)、京津環(huán)渤海地區(qū)、珠三角地區(qū)及福廈泉地區(qū)，因此特別對這些地區(qū)涉及的22個省份的63個省級和市級生態(tài)環(huán)境部門的分級審批文件進行統(tǒng)計分析，發(fā)現(xiàn)集成電路建設項目審批權限主要在縣級的有54個。可見，縣級生態(tài)環(huán)境部門承擔起了大部分集成電路建設項目環(huán)評審批職責。

1.2 已開展規(guī)劃環(huán)評的集成電路建設項目環(huán)評可簡化內(nèi)容不明確

2015年，原環(huán)境保護部《關于加強規(guī)劃環(huán)境影響評價與建設項目環(huán)境影響評價聯(lián)動工作的意見》(環(huán)發(fā)〔2015〕178號)中明確：“對符合規(guī)劃環(huán)評結論及審查意見要求的建設項目，其環(huán)評文件應按照規(guī)劃環(huán)評的意見進行簡化”；2016年，原環(huán)境保護部《關于以改善環(huán)境質量為核心加強環(huán)境影響評價管理的通知》(環(huán)環(huán)評〔2016〕150號)中明確：“規(guī)劃環(huán)評要作為規(guī)劃所包含項目環(huán)評的重要依據(jù)，對于不符合規(guī)劃環(huán)評結論及審查意見的項目環(huán)評，依法不予審批。規(guī)劃所包含項目的環(huán)評內(nèi)容，應當根據(jù)規(guī)劃環(huán)評結論和審查意見予以簡化。”

根據(jù)收集到的全國各省份發(fā)布的建設項目環(huán)評與規(guī)劃環(huán)評相關政策文件，對項目環(huán)評提出明確簡化要求的只有河南、上海、江蘇、浙江等8個省份，其中又只有河南對具體簡化內(nèi)容提出了明確要求，其他省份只是提出了降低環(huán)評報告等級、共享現(xiàn)狀環(huán)境數(shù)據(jù)和區(qū)域污染源調查數(shù)據(jù)等籠統(tǒng)的簡化要求。

集成電路建設項目多數(shù)集中在工業(yè)園區(qū)內(nèi)，而入園項目的環(huán)評報告在編制過程中都會參照規(guī)劃環(huán)評及其審查意見，但由于大多數(shù)地區(qū)沒有出臺具體的可簡化內(nèi)容，加上規(guī)劃環(huán)評本身的結論及審查意見也不給出具有可操作性的入園建設項目環(huán)評簡化意見[5]，集成電路建設項目環(huán)評單位出于各方面考慮往往不會真正進行簡化，造成與園區(qū)的規(guī)劃環(huán)評重復工作。

1.3 集成電路行業(yè)缺乏建設項目重大變動的界定標準

《環(huán)境影響評價法》(2018修正版)第24條規(guī)定：“建設項目的環(huán)境影響評價文件經(jīng)批準后，建設項目的性質、規(guī)模、地點、采用的生產(chǎn)工藝，或者防治污染、防治生態(tài)破壞的措施發(fā)生重大變動的，建設單位應當重新報批建設項目的環(huán)境影響評價文件。”

集成電路行業(yè)有以下兩個方面的主要特征：(1)產(chǎn)品更新?lián)Q代快、研發(fā)周期短，按照行業(yè)內(nèi)的摩爾定律[6]，芯片上所集成的電路和微處理器等性能，每隔一段不長的時間就能翻一番，且很大一部分企業(yè)為代生產(chǎn)工廠，一段時間后，往往由于市場需求、客戶委托內(nèi)容的變化，會對某些工藝、設備做出局部調整，雖然生產(chǎn)的都是同一類產(chǎn)品，但產(chǎn)品的序列、層次可能已發(fā)生變化；(2)企業(yè)之間知識產(chǎn)權的主導權斗爭激烈[7]，所獲取的創(chuàng)新成果大多會及時登記為專利、商標等進行知識產(chǎn)權保護，而且企業(yè)出于商業(yè)機密的考慮，產(chǎn)品工藝、工序通常不會全部提供給環(huán)評單位，容易造成項目實際的污染物排放與環(huán)評報告不一致。

從集成電路行業(yè)的上述特征可以看出，集成電路建設項目從可研、初步設計到施工圖設計，再到具體施工階段，由于其市場定位、研發(fā)技術及產(chǎn)品規(guī)模等內(nèi)容都有可能發(fā)生變化，導致集成電路建設項目經(jīng)常出現(xiàn)實際生產(chǎn)的原輔材料使用量、設備等都較環(huán)評報告發(fā)生較大變化，但由于缺乏對其重大變動的界定標準，導致不少企業(yè)不開展變更環(huán)評，使得環(huán)評制度的有效執(zhí)行大打折扣。

1.4 集成電路行業(yè)現(xiàn)行污染物排放標準已顯過時

目前，集成電路行業(yè)的污染物排放標準主要執(zhí)行《污水綜合排放標準》(GB 8978—1996)、《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質標準》(GB/T 31962—2015)、《大氣污染物綜合排放標準》(GB 16297—1996)和《電鍍污染物排放標準》(GB 21900—2008)等。有少部分省份如上海、北京等出臺了相關的地方標準，如上海的《半導體行業(yè)污染物排放標準》(DB31/ 374—2006)、北京的《電子工業(yè)大氣污染物排放標準》(DB11/ 1631—2019)。國家層面的行業(yè)標準是《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB 39731—2020)。

由于集成電路行業(yè)排放主要執(zhí)行的標準制定時間較早，且是綜合性標準，與行業(yè)的污染防治針對性不是很強。而且，集成電路行業(yè)的原材料構成、生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品結構等都比較復雜，很多污染物都具有明顯的行業(yè)特征，其廢水中的總氮、氟化物指標，廢氣中的砷化氫、磷化氫等指標，在GB 8978—1996和GB 16297—1996中均沒有相應的限制，對于部分有限制的指標其標準也偏于寬松。因此，集成電路行業(yè)使用現(xiàn)行的污染物排放標準不利于行業(yè)的環(huán)境管理。

2 集成電路行業(yè)環(huán)評管理的對策建議

2.1 細化集成電路建設項目環(huán)評的分類管理

建議對《名錄》進一步進行修訂完善，并且固定下來，細化集成電路建設項目的分類管理類別，按照工序、工藝等，建議單純測試的集成電路制造項目只需進行登記備案，一般的集成電路制造項目需編制環(huán)評報告表，對于含前工序的集成電路建設項目在環(huán)評報告表中可以根據(jù)需要增加大氣、水、環(huán)境風險等專題評價。

2.2 加強規(guī)劃環(huán)評與建設項目的環(huán)評聯(lián)動

建議明確入園區(qū)集成電路建設項目環(huán)評的具體簡化內(nèi)容：在工業(yè)園區(qū)規(guī)劃環(huán)評中已開展深入論證且有明確結論的內(nèi)容，例如產(chǎn)業(yè)政策、環(huán)境準入、市政基礎條件、園區(qū)廢水處理系統(tǒng)環(huán)境可行性等，集成電路建設項目的環(huán)評可以直接引用規(guī)劃環(huán)評及審查意見中的結論或簡化。

2.3 明確界定集成電路行業(yè)建設項目重大變動標準

建議發(fā)布集成電路行業(yè)建設項目重大變動判定的指導性文件或標準，明確需要報送變更環(huán)評報告的條件，可從主要生產(chǎn)裝置類型、主要原輔材料類型、主要燃料類型以及生產(chǎn)工藝和技術等調整變化入手，定量規(guī)定由此導致的新增污染物量和生產(chǎn)能力變化，對于不屬于重大變動的情況，在竣工驗收時必須要求達到環(huán)評的要求。

2.4 嚴格行業(yè)污染物排放標準

目前，國家層面的行業(yè)標準GB 39731—2020已經(jīng)發(fā)布，但只是針對水污染物。建議集成電路建設項目集中分布的地區(qū)出臺更多更詳細的地方行業(yè)標準，有針對性強化對該行業(yè)的環(huán)境管理。

3 結 語

集成電路行業(yè)是國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，是國民經(jīng)濟和社會信息化的重要基礎。近年來，在國家一系列政策措施的扶持下，經(jīng)過各方面共同努力，我國集成電路行業(yè)獲得了較快發(fā)展。集成電路制造企業(yè)大都為具有較強實力的大型企業(yè)，總體來說環(huán)境管理比較規(guī)范，污染防治措施也能基本落實到位，若能進一步完善其環(huán)評管理，則能更好地為地方生態(tài)環(huán)境部門管理人員環(huán)評審批服務，促進集成電路行業(yè)更好地向綠色、節(jié)能的方向發(fā)展。