光刻機巔峰對決

劉芮 鄧宇

站在EUV LLC的肩膀上，背靠美國支持，又有客戶送錢，阿斯麥正式成為“全村的希望”，在摘取EUV光刻機這顆寶石的道路上狂奔。而一代霸主尼康，自此徹底零落在光刻機制造史的塵埃之中。

在芯片領域，有一種叫光刻機的設備，不是印鈔機，卻比印鈔機還金貴。歷數全球，也只有荷蘭一家叫做阿斯麥（ASML）的公司集全球高端制造業之大成，一年時間造得出二十臺高端設備，臺積電與三星每年搶破了頭，中芯國際足足等了三年，也沒能將首臺EUV光刻機迎娶進門。

其實，早在上世紀80年代，阿斯麥還只是飛利浦旗下的一家合資小公司。全司上下算上老板共31位員工，只能擠在飛利浦總部旁臨時搭起的板房里辦公。一出辦公室就能看到板房旁邊一只巨大的垃圾桶。出門銷售，也只能頂著母公司的名義，在對手的映襯下，顯得弱小、可憐，又無助。

不過說起來，作為半導體行業“皇冠上的明珠”，光刻機的本質其實與投影儀+照相機差不多，以光為刀，將設計好的電路圖投射到硅片之上。在那個芯片制程還停留在微米的時代，能做光刻機的企業，少說也有數十家，而尼康憑借著相機時代的積累，在日本半導體產業全面崛起的年代，正是當之無愧的巨頭。短短四年，就將昔日光刻機大國美國拉下馬，與舊王者GCA平起平坐，拿下三成市場份額。手里幾家大客戶英特爾、IBM、AMD、德州儀器，每天排隊堵在尼康門口等待最新產品下線的熱情，與我們如今眼巴巴等著阿斯麥EUV光刻機交貨的迫切并無二致。……