劉東來,王偉魁,彭泳卿,金小鋒
(北京遙測(cè)技術(shù)研究所,北京 100076)
由于沖擊波壓力信號(hào)是一個(gè)瞬態(tài)過程,具有上升沿陡峭的特點(diǎn),因此,測(cè)量沖擊波超壓需要在極短時(shí)間內(nèi)完成[1],頻響需要大于300 kHz。爆炸場(chǎng)環(huán)境惡劣,對(duì)于傳感器的環(huán)境適應(yīng)性也提出了很高的要求。目前,常用于測(cè)量沖擊波超壓的傳感器主要有壓阻式和壓電式[2]。但壓阻式壓力傳感器對(duì)溫度較敏感,靈敏度相對(duì)較低[3],且部分硅壓阻傳感器對(duì)爆炸光敏感,在爆炸源火光的作用下產(chǎn)生強(qiáng)烈的電信號(hào),直接影響測(cè)試結(jié)果[4]。壓電式壓力傳感器在應(yīng)力變化響應(yīng)方面更高效,更適用于能量需求及動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量方面[5]。
傳統(tǒng)的壓電式傳感器需要外置電荷放大器解調(diào)電荷信號(hào),連接的線纜會(huì)造成信號(hào)誤差,也易受外部環(huán)境影響。因此,需要設(shè)計(jì)一種集成式壓電傳感器信號(hào)調(diào)理電路,也稱壓電集成電路(IEPE)[6]。IEPE電路輸入端與敏感元件相連,將敏感元件輸出的電荷信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào),電路輸出端信號(hào)線與電源線共線,易于實(shí)現(xiàn)小型化,從而通過一條導(dǎo)線同軸線纜直接和采集設(shè)備連接,不僅實(shí)現(xiàn)了將敏感元件與電荷放大電路集成于一體,且減少了線纜,此外傳感器的殼體為IEPE電路提供了電磁屏蔽,從而抑制了線纜阻抗影響、電磁干擾等,有利于簡(jiǎn)化測(cè)試系統(tǒng),有效提高了測(cè)試精度和可靠性。
集成式壓電傳感器信號(hào)調(diào)理電路的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。其中IEPE電路由一個(gè)電荷放大器和一個(gè)濾波器組成,外接一個(gè)恒流源為整個(gè)電路供電。

圖1 集成式壓電傳感器信號(hào)調(diào)理電路結(jié)構(gòu)圖
電荷放大器是IEPE電路中的核心部分,它是把敏感元件產(chǎn)生的電荷轉(zhuǎn)換為易測(cè)量的電壓橋梁。電荷放大器電路的主要作用是將敏感元件的微弱電荷信號(hào)經(jīng)過放大、濾波,轉(zhuǎn)換成數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)能夠接收的電壓信號(hào)。電荷放大器設(shè)計(jì)的關(guān)鍵是在對(duì)弱信號(hào)放大的同時(shí),保證電路的帶寬,即響應(yīng)頻率,確保信號(hào)不失真。
電荷放大器目前較常見的是基于運(yùn)算放大器、由反饋電容C1與反饋電阻R2組成的深度負(fù)反饋高增益放大電路,如圖2所示。其電荷-電壓靈敏度由C1決定,靜態(tài)工作點(diǎn)與低頻特性由R2決定,放電時(shí)間常數(shù)由C1×R2決定[7]。由于在電荷放大器中加入電容反饋,對(duì)直流工作點(diǎn)相當(dāng)于開路,此時(shí)電纜噪聲會(huì)造成零點(diǎn)漂移,為使放大器穩(wěn)定工作,減少誤差,與C1并聯(lián)的R2應(yīng)選擇1010~1014Ω,以提供直流反饋[8]。

圖2 基于運(yùn)放的電荷放大器電路
對(duì)于足夠高的開環(huán)增益,電荷放大器的輸出端電壓可近似為
(1)
式中Q為輸入電荷量。
因此,電纜長(zhǎng)短和壓電元件本身電容的大小幾乎可忽略,Uo僅由輸入端電壓和C1決定,這是電荷放大器的突出特點(diǎn)[9]。
基于運(yùn)算放大器的信號(hào)放大器體積較大,只能在傳感器外部與之相連,無法與敏感元件集成于一個(gè)傳感器中;并且因其需要供電,至少需要電源線、地線、信號(hào)線及無法實(shí)現(xiàn)信號(hào)與電源共線,且自身線纜較長(zhǎng),會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生不良影響。為了設(shè)計(jì)小型化集成化的沖擊波超壓傳感器,將電荷放大器電路用模擬電路搭建出來,所用元器件多為電容、電阻、三極管等分立器件,不僅體積小、易于集成,且可以實(shí)現(xiàn)信號(hào)與電源共線,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)IEPE電路。
所設(shè)計(jì)的電荷放大電路如圖3所示,其與圖2的電路原理相似。電容C1為反饋電容,電阻R2為反饋電阻,R2值很大,和C1一起決定電荷放大器的時(shí)間常數(shù),決定了響應(yīng)頻率的下限,時(shí)間常數(shù)越大,響應(yīng)頻率的下限越低;場(chǎng)效應(yīng)管Q1、Q6工作在高阻態(tài),相當(dāng)于2個(gè)大電阻,提供高絕緣性能;場(chǎng)效應(yīng)管Q2、Q3相當(dāng)于2個(gè)二極管,他們與Q1、Q6一起提高靜態(tài)工作點(diǎn);Q5是一個(gè)達(dá)林頓管,發(fā)射極與輸出端相連,集電極與地相連,作用是提高驅(qū)動(dòng)電流,將直流電流幾乎全部引入發(fā)射極,從而提高Q5發(fā)射極的電壓,用于電荷放大電路這種大負(fù)載驅(qū)動(dòng)電路,且易于集成化;Q4與R3、R4、R5提供直流分壓;C3、C4、R2構(gòu)成一個(gè)π型濾波電路,抑制直流電源紋波,為Q1提供穩(wěn)定的靜態(tài)工作偏置電壓。

圖3 IEPE電路圖
由式(1)可知,當(dāng)C1為常數(shù)時(shí),Uo與電荷成正比。而當(dāng)C1增大時(shí),Uo將減小,所以應(yīng)選擇合適的C1值,一般取值為10~105pF。
Multisim軟件中器件種類齊全,電路分析功能強(qiáng)大,可使用它進(jìn)行電路設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)仿真[10]。根據(jù)圖1,將IEPE電路、濾波器、恒流源整合在一起,器件連接圖如圖4所示。

圖4 電路仿真連接框圖
其中交流信號(hào)源與電容組合,可以產(chǎn)生交流電荷,模擬敏感元件接收壓力通過壓電效應(yīng)產(chǎn)生電荷的過程。恒流源電路基于LM317設(shè)計(jì),提供4 mA的恒流源,如圖5所示。

圖5 恒流源電路圖
Multisim軟件中具有交流分析功能,用來模擬交流頻率響應(yīng),包括幅度和相位。仿真實(shí)驗(yàn)中,選擇C1的不同容值,觀察交流分析仿真圖,對(duì)比不同的C1容值下電路放大倍數(shù)及帶寬。圖6為C1=1 pF、10 pF、100 pF對(duì)應(yīng)的幅頻特性曲線。

圖6 Multisim仿真結(jié)果
由圖6可知,C1的容值影響著電路的放大倍數(shù)和帶寬,C1越大,放大倍數(shù)越小,帶寬越寬,高頻擾動(dòng)越大。這個(gè)結(jié)果符合式(1)及時(shí)間常數(shù)對(duì)于電荷放大器的影響,驗(yàn)證了電路原理的正確性。
當(dāng)C1=1 pF時(shí),幅頻特性曲線波形平滑,放大倍數(shù)較大,但帶寬很窄,小于300 kHz,不符合設(shè)計(jì)要求;當(dāng)C1=100 pF時(shí),幅頻特性曲線高頻段略有凸起,帶寬極寬,放大倍數(shù)約為1;當(dāng)C1=10 pF時(shí),幅頻特性曲線波形平滑,放大倍數(shù)接近10倍,且?guī)捿^寬(約為800 kHz),低頻響應(yīng)約為1 Hz。可見C1=10 pF、100 pF符合電路設(shè)計(jì)要求,可根據(jù)傳感器實(shí)際量程進(jìn)行選擇。
按照設(shè)計(jì)的電路,制作了印制電路板(PCB),C1選用10 pF,尺寸大小為4 mm×23 mm,如圖7所示。

圖7 IEPE電路實(shí)物圖
按圖4將電路板與輔助設(shè)備連接,進(jìn)行實(shí)際電路的頻響測(cè)試。其中交流信號(hào)源通過信號(hào)發(fā)生器實(shí)現(xiàn),標(biāo)準(zhǔn)電容C2為100 pF。恒流源與仿真電路一致。電源采用Keysight公司生產(chǎn)的E3649A型直流電源,并調(diào)至24 V。
測(cè)試過程中調(diào)整信號(hào)發(fā)生器,輸出峰-峰值為1 V,頻率為0.5 Hz~5 MHz,觀察示波器波形及峰-峰值的變化并記錄數(shù)據(jù)。測(cè)試結(jié)果如圖8所示。

圖8 幅頻特性曲線
由圖8可知,電路的實(shí)際調(diào)試與仿真結(jié)果基本一致,電路在中頻段的工作效果較好,實(shí)際帶寬大于600 kHz,低頻響應(yīng)接近1 Hz,滿足沖擊波超壓傳感器要求。
作為傳感器信號(hào)調(diào)理電路,還需要進(jìn)行線性度測(cè)試。當(dāng)電路的輸入為2 V時(shí),輸出約為15 V,接近電路最大輸出值。電路在25 ℃時(shí),改變信號(hào)發(fā)生器輸入幅值,在0~2 V時(shí)均勻地取8個(gè)點(diǎn),記錄示波器輸出峰-峰值,將結(jié)果用擬合公式擬合為直線,如圖9所示。

圖9 線性度擬合曲線
線性度δL,又稱為非線性誤差,用特性曲線與其規(guī)定的擬合直線之間最大偏差ΔMmax與電路最大輸出值ymax的百分?jǐn)?shù)來表示[11],即
(2)
經(jīng)過數(shù)據(jù)對(duì)比可看出,輸入電壓為2 V時(shí),特性曲線與擬合曲線的偏差最大,計(jì)算得ΔMmax=0.058 2,ymax=14.6 V,代入式(2)中可得δL=0.4%。
為滿足野外環(huán)境使用,還需要進(jìn)行溫度試驗(yàn),以了解該電路在極端溫度環(huán)境下的工作特性。溫度試驗(yàn)所使用的溫箱是巨孚公司生產(chǎn)的可程式高低溫恒溫試驗(yàn)機(jī),試驗(yàn)裝置連接如圖10所示,試驗(yàn)儀器型號(hào)如表1所示。

圖10 溫度試驗(yàn)裝置連接圖

表1 溫度試驗(yàn)儀器型號(hào)表
首先進(jìn)行極端溫度條件下的頻響測(cè)試,試驗(yàn)過程如下:
1) 將IEPE電路板在無包裝情況下置于-55 ℃和120 ℃的試驗(yàn)箱內(nèi),進(jìn)行高、低溫試驗(yàn)。高、低溫下暴露1 h,進(jìn)行3次循環(huán),記錄全頻段示波器的輸出峰-峰值并取平均值。
2) 將得到的數(shù)據(jù)與25 ℃下的數(shù)據(jù)繪制在同一個(gè)圖表中,觀察高、低溫對(duì)電路頻響的影響,如圖11所示。

圖11 溫度對(duì)頻響影響曲線
不同溫度下的頻響波動(dòng)程度以25 ℃測(cè)量值為基準(zhǔn)計(jì)算,將高、低溫每個(gè)頻率下的幅值波動(dòng)制成散點(diǎn)如圖12所示。

圖12 頻響波動(dòng)散點(diǎn)圖
由圖11、12可知,電路在-55 ℃和120 ℃環(huán)境下的工作特性正常,全溫下頻響的波動(dòng)程度小于4.3%。
近年來,沖擊波超壓傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域日益廣泛,國(guó)內(nèi)迫切需要小型化、高性能的超壓傳感器。本文設(shè)計(jì)了一款沖擊波超壓傳感器信號(hào)調(diào)理電路,基于模擬電路及分立式器件,使信號(hào)端與電源端共線,從而實(shí)現(xiàn)IEPE功能。實(shí)測(cè)時(shí),電路性能與軟件仿真的結(jié)果接近,頻響帶寬大于600 kHz,且線性度較好,約為0.4%。全溫下頻響的波動(dòng)程度小于4.3%,實(shí)際使用時(shí)可通過全溫標(biāo)定和溫度補(bǔ)償?shù)姆绞竭M(jìn)行抑制。電路易于小型化,未來有望與敏感元件集成在一起成為一個(gè)小型的、自帶電荷放大器的傳感器,提升了沖擊波壓力測(cè)試的精度和可靠性。