淺談半導體制造行業危廢鑒別的問題與優化建議

劉媛

摘 要：隨著我國危險廢物規范化管理的進一步加強，危險廢物鑒別工作成為規范化管理不可或缺的組成部分。開展科學的危廢鑒別工作，可將半導體制造企業存疑的產廢，明確其危險特性，有效降低企業固體廢物環保安全處置風險。

關鍵詞：危險廢物鑒別;鑒別工作實施流程;環保

半導體行業是我國“十三五”規劃中的重點發展領域，是國內新興戰略產業。但其環評文件中涉及整體工藝的產廢相關基礎性數據并不全面，相關信息的收集、分析與研究都面臨較大困難，加之目前多數先進制造工藝技術具有壟斷保密性質，所以，開展危險廢物鑒別對彌補產廢基礎數據是特別有必要的，更有利于企業對固體廢物的規范化管理。

1 ? ?半導體行業危廢鑒別現狀

危險廢物鑒別的程序和判別規則來源于《危險廢物鑒別通則》，鑒別過程中涉及的樣品采集、檢測和判斷等技術要求出自《危險廢物鑒別技術規范》，這兩項重要的鑒別規范均在2020年1月1日頒布實施。結合當前半導體行業的危廢鑒別現狀，采用新規范鑒別、分析危險廢物，可使鑒別體系更具可操作性，對總結鑒別實踐經驗、降低危險廢物處置難度有重大意義。

企業鑒別工作實施流程開展前的首要環節就是取得環評文件。根據鑒別規范中針對危險廢物的判定規則，通常環評公司會在報告編寫或評審階段羅列出待鑒別的危廢項目，從而使企業有明確的鑒別目標。鑒別工作主要包含取樣檢測及鑒別分析兩部分，取樣包含初篩取樣及正式檢測取樣，可根據固體廢物的各項危險特性超標的可能性，確定檢測優先順序。根據任何一項檢測結果判定該固體廢物具有危險特性時，可不再檢測其他危險特性。鑒別服務公司依照檢測結果，分析并編寫鑒別報告，后經專家評審認定即完成整套鑒別流程，可確認待測定固體廢物有無危險特性。

2 ? ?危廢鑒別存在的問題

2.1 ?環評過于從嚴判定固體廢物

半導體行業涉及的固體廢物依照《國家危險廢物名錄》進行辨識，環評階段發現一部分廢物并無對應行業及代碼使之完全切合，從工藝流程、產生環節、主要成分、有害成分等角度分析并不能完全排除其危險特性，通常環評階段類比相同或相似的固體廢物危險特性，會從嚴判定結果。例如廢晶圓屬于制造工藝中產生的不合格產品，通過分析制造工藝中的砷平衡表，發現可能有微量砷元素進入了晶圓因而被判定為HW24“含砷廢物”，通過實際危廢鑒別后，發現并未檢出砷的急性毒性或浸出毒性的危險特性。從嚴判定必將導致一些本應作為一般固體廢物處置的廢棄物轉變為危險廢物，從而面臨收集、運輸、處置方式的復雜化，還會使企業廢棄物處置成本陡增。

2.2 ?已定性的固體廢物處置風險

高科技行業正在經歷與日俱增的產業革新，環評文件由于編寫、審核、批準的周期較長，無法保證及時跟進、更新。在環評中已經完成定量定性的固體廢物，如果其在生產工藝運行穩定、廢物性質穩定的情況下，按照環評要求的處置方式進行處置，可以保障處置合法合規;但當廢物性質隨工藝變化較大時，該廢物危險特性判定結果的有效性則會被質疑。例如，潔凈室空氣過濾會產生大量的報廢空氣濾網，其作用為過濾空調吸入的外部空氣中微量的污染成分，在環評中被定性為一般工業固廢。實際上不同地域氣象條件不同，因而外部空氣質量也隨之變化，為保障潔凈室內空氣質量合規，就會需要使用更為先進的空調濾芯方可達到滿意的去除效率，這些新型空氣濾網通常含有催化劑及活性炭。如果企業將含有催化劑及活性炭的固體廢物，繼續作為一般固廢處置，很有可能為企業留下安全環保風險。

3 ? ?危廢鑒別優化建議

3.1 ?提高企業自身的危廢辨識能力

無論環評文件中有無定性固體廢物的危險特性，企業的廢棄物管理專責人員都要定期進行自我核查，保證環評表述信息與實際產廢情況相吻合。首先，要判斷存疑的危險廢物是否為在生產過程中產生的，喪失原有利用價值或者雖未喪失利用價值但被拋棄或者放棄的物品、物質，包括法律、行政法規規定納入固體廢物管理的固體廢物。只有滿足屬于固體廢物的前提條件，才可以依照《國家危險廢物名錄》來判斷其是否屬于危險廢物。接下來根據《名錄》中行業類別、工藝或裝置來定性危險廢物，如未匹配到對應項目，可開展危廢鑒別，精準判定危險廢物，有效控制環境風險。所以，半導體行業在環評階段之初，不能完全照搬危險廢物名錄中的行業來源“電子原件制造行業”的產廢歸類，而是需要根據產廢源頭的工藝或裝置來判定。

3.2 ?合理優化環評危廢鑒別結果

鑒別的意義在于進一步明確其屬性，確定其管理范疇。當物品具有較高的利用價值時，對于環評文件已定性或還未定性的危險廢物，產生單位可能對于某物品是否屬于廢物或危險廢物存在異議，也可以主動申請重新進行廢物危險特性鑒別。另外新版《通則》也明確提出，如果根據其生產的原輔材料和工藝就可以排除其具有危險特性，便可以在不開展危險特性檢測工作或輔助性檢測工作的情況下，直接作出該固體廢物不具有危險特性的屬性認定，從而避免了危險廢物鑒別過程的過度檢測。

4 ? ?結語

固體廢物危險特性鑒別的完善對固體廢物管理，特別是危險廢物管理發揮著關鍵性的作用。事實上，幾乎所有固體廢物都可找到合理的利用方式和途徑。為了能實現這一最終目的，需要企業深刻理解固體廢物概念和廢物管理的原則，運用已有的法律法規及危險廢物鑒別手段，使企業有更加多元化的機會將危險廢物處置風險降到最低，創造價值的同時也能節約資源，變廢為寶。

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