Parylene涂層生產中安全防護措施淺談

李建軍，吳彪，段建國

Parylene涂層生產中安全防護措施淺談

李建軍，吳彪，段建國

（中國工程物理研究院材料研究所，四川 綿陽 621907）

通過梳理Parylene涂層過程中可能存在的危險源，對危險源和危害因素進行了系統辨識和分析。根據風險矩陣，對已識別的危險源進行危害風險評估，確定危險源的風險等級。列出重要危險源清單，并提出合理的控制措施。采取控制措施可最大限度地減小可能產生的事故后果，有力保障生產順利進行。

Parylene涂層；危險源；風險評估；控制措施

1 引言

在國民經濟生產生活中，安全防護措施與預防的重要性逐漸凸顯[1]。Parylene涂層被廣泛應用于高活性材料、電子元件以及珍貴文物等腐蝕防護。Parylene涂層生產中日常接觸的危險源有以下特點：①各種化學試劑有強烈刺激性氣味，易揮發，長時間接觸對呼吸道等造成傷害；②粉塵長時間吸入肺部會導致塵肺、肺癌；③粉塵與化學試劑易燃易爆，處理不好會有火災隱患；④機械傷害，各類工具導致的劃傷、割傷以及飛濺物傷害；⑤高溫燙傷、低溫凍傷等。

以上危險因素嚴重威脅操作者的身體健康與人身安全，稍有疏忽會導致爆炸、火災、粉塵吸入毒害身體等安全事故的發生，造成財產損失與人員傷害。因此應對Parylene涂層過程中的危險源進行辨識和防護，使之得到有效控制。本文以Parylene涂層過程為分析對象，旨在探討如何全面辨識危險源，完善風險評估機制，從而加強管理，消除隱患，規避和有效防范涂層過程中的危險與危害。

2 危險源辨識和風險評估

2.1 危險源辨識方法

危險源辨識的方法有很多，常見的有安全檢查表、工作危害分析法、危險與可操作性研究、事件樹分析、故障樹分析等，每一項都有其使用范圍、局限性與目的性[2]。

本文采用工作危害分析法進行危險源辨識，辨識思路如圖1所示。

圖1 危險源辨識思路

工作危害分析法是通過分析檢測活動過程匯總或特定場所/區域人員、工作任務、使用的設備設施、材料和樣品及工作環境之間的相互關系識別出過程中每個步驟存在的危險源。該方法廣泛適用于生產的各個環節。

2.2 危害和有害因素分析

生產過程中危險和有害因素分為四大類，分別是人的因素、物的因素、環境因素和管理因素。對Parylene涂層過程中主要危險源和有害因素進行了分析，結果如表1所示。

表1 危險源和有害因素表

危險源因素具體危險和有害因素 人的因素行為性危險和有害因素操作錯誤誤操作依誤操作具體情形而定、不確定度大 物的因素物理性危害和有害因素設備、設施、工具缺陷外露運動件手術刀、單面刀片、雙面刀片使用不規范劃傷手，鉗工桌子夾具易夾手 高溫傷害升華爐、裂解爐、石英管等高溫部位多部位溫度高、高溫燙傷 低溫傷害冷阱低溫部位冷阱溫度低、低溫凍傷 運動物傷害飛濺物飛濺物劃傷皮膚、進入眼睛 高壓氣瓶壓縮氣體氣瓶砸傷、高壓氣體傷害 化學性危害和有害因素易燃液體容易著火石油醚、乙二胺、乙酸乙酯、清漆、乙酸丁酯、二甲苯等 揮發性液體刺激性傷害石油醚、乙二胺、乙酸乙酯、清漆、乙酸丁酯、二甲苯等 環境因素室內作業環境不良通排風故障/換氣能力不足導致室內充滿刺激性氣味 照明不良/容易導致意外傷害

由表1不難看出，Parylene涂層過程危害主要集中在“物的因素”，“人的因素”主要體現在操作失誤等方面，“環境因素”則體現在室內作業環境不良。在此次危險和有害因素分析中未列入管理因素的問題。

2.3 危險源辨識與風險評估

在分析危險和有害因素的基礎上，按風險矩陣分析方法來辨識各類危險與危害因素的安全風險等級[3]。風險矩陣包括風險矩陣的選擇、嚴重程度的評價、概率的評價和風險等級的得出四個步驟。風險等級=發生的概率×事件的嚴重度[3]。一種風險矩陣的定義形式如表2所示。確定各種危險源轉化成安全事故或人身傷害的風險大小，并決定是否需要采取相應的風險控制措施。

按上述方法對Parylene涂層所有作業活動的危險源進行辨識和風險評估，確定了各危險源的風險等級，結果如表3所示。由表3可知，Parylene涂層風險等級平均為中等風險，無高風險等級以上風險，其中，有一部分中等風險的危險源及危害因素發生概率大，危害程度嚴重，在日常生產中需做好防范與控制措施，規避這些危險因素。

表2 風險矩陣

嚴重度風險等級 低概率中概率高概率 輕微傷害極低風險低風險中等風險 中等傷害低風險中等風險高風險 嚴重傷害中等風險高風險高風險

3 控制措施

為預防和控制潛在安全事故或意外傷害，根據Parylene涂層危險源辨識、危險風險評估的結果，將“發生概率大，傷害程度嚴重”列為重要危險源，針對該類危險源提出相應的控制措施。重要危險源清單及控制措施如表4所示。

表3 危險源辨識和風險評估結果匯總

作業風險危險源工作狀態危險性評價風險等級 正常異常緊急概率傷害程度 設備裝置維護氣瓶因固定不當或撞擊摔倒發生人身傷害或造成設備損壞√ 低嚴重中等風險 設備線路老化漏電，手套箱漏氣等√ 低嚴重中等風險 涂層設備維護冷阱低溫凍傷√ 低嚴重中等風險 接觸高溫加熱毯燙傷√ 中嚴重中等風險 高溫誤用石油醚引發火災√ 低特別嚴重中等風險 裂解爐溫度過高燙傷√ 高嚴重中等風險 取出高溫石英管燙傷√ 高嚴重中等風險 刀片斷裂√ 高一般低風險 在鉗工桌上夾傷或改刀鑿傷√ 中嚴重低風險 高溫異味刺激肺部√ 高嚴重中等風險 刀片易劃傷手指√ 低一般中等風險 螺絲刀、鏟刀對手的傷害√ 中嚴重低風險 化學試劑管理使用二甲苯毒性傷害，接觸過敏反應，易燃易爆，吸入神經系統和對臟器的傷害√ 中嚴重中等風險 石油醚慢性毒性，易揮發被人吸入體內，易燃易爆√ 高嚴重中等風險 乙二胺人體吸入過敏反應，易燃易爆√ 低嚴重低風險 乙酸乙酯易燃易爆，對眼鼻喉有刺激作用，濃度過高，吸入引起麻醉反應，揮發性極強√ 中嚴重中等風險 乙酸丁酯對眼及上呼吸道均有強烈的刺激作用，有麻醉作用，可引起結膜炎、角膜炎，角膜上皮有空泡形成√ 高嚴重中等風險 清漆中含有大量的甲醛等氣體，對人體傷害極大√ 高嚴重中等風險 粉塵傷害開箱裝入干燥器，開干燥器，開手套箱，過度艙粉塵吸入傷害√ 高嚴重中等風險 產品清洗粉塵吸入√ 高嚴重中等風險

表4 重要危險源清單及控制措施

作業活動危險源風險等級控制措施 涂層設備的日常維護冷阱的低溫凍傷、石英管的高溫時取出燙傷、石英管銷毀時玻璃割傷、加熱毯的高溫燙傷、刀片割傷、改刀鑿傷、刮刀割傷、高溫誤用石油醚易發火災、高溫氣味傷害肺部中等風險清爐時戴防割傷手套，防止刀片劃傷，起到一定的保護作用；佩戴石棉手套取石英管和清理冷阱；高溫時不用石油醚清洗管道；穿戴工作服、佩戴口罩，注意個人防護 使用化學試劑配漆使用二甲苯、清漆、石油醚、乙酸丁酯等液體，氣體吸入過量導致人體的不適，干粉和液體防爆柜中擺放位置不當中等風險穿戴好工作服手套、佩戴口罩，保持通風，風機設備老化應該及時更新，控制火源，干粉和液體防爆柜中分開存放；滅火器放置位置與數量設置合理 處理含粉塵產品粉塵吸入傷害，對裸露皮膚、手部的腐蝕傷害，易燃容易導致燃燒、火災中等風險穿好防護服，戴好口罩、細紗手套與乳膠手套，注意防火，提高作業人員危險意識 各設備接電問題各設備檢查線路老化漏電對設備人員的傷害中等風險定期檢查線路是否正常、設備定期檢查是否正常工作

通過上述控制措施可以最大限度減小可能產生的事故后果，有力保障Parylene涂層生產任務順利進行。

4 小結

Parylene涂層操作是一項涉及面廣、影響因素多、操作難度大的工作，只有在實際工作中采取科學的管理方法，制定嚴格的管理措施，完善安全體系，提高涂層人員安全意識，才能使涂層生產的危險因素降低，減少各種安全事故的發生，切實有效保證涂層操作人員的人身安全。

［1］張興凱.安全生產危機預警初探［J］.中國安全生產科學技術，2005，1（1）：36-40.

［2］陳春梅.危險源辨識方法［J］.社科論壇，2013（4）：127-128.

［3］李爭峰.對危險源辨識、風險評價技術方法的應用探討［J］.石油化工安全技術，2003，21（3）：3-5.

X937

A

10.15913/j.cnki.kjycx.2020.13.052

2095－6835（2020）13－0128－02

李建軍，高級工，1993-09參加工作，主要從事涂層防護工作。

段建國（1961—），男，高級技師，主要從事涂層防護與表面噴漆工作。

〔編輯：嚴麗琴〕