高純氣體中容積鋼質無縫氣瓶定期檢驗

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(中國特種設備檢測研究院，北京 100013)

0 引言

高純氣體氣瓶用于充裝純度大于99.999%且氣體含水量小于0.001‰的氣體。隨著我國產業結構升級，集成電路、芯片、半導體等產業高速發展，對高純氣體種類和數量的需求也日益增加，因此高純氣體氣瓶數量也在快速增加。充裝高純氣體的氣瓶類型主要有大容積無縫氣瓶、中容積無縫氣瓶和焊接氣瓶，其中中容積鋼質無縫氣瓶數量居多，據統計，該類型氣瓶占到高純氣體氣瓶總數的90%以上，因此保障其安全至關重要。

根據TSG R0006—2014《氣瓶安全技術監察規程》[1]的分類，容積在12～150 L之間的氣瓶稱為中容積氣瓶。與充裝普通介質的氣瓶相比，高純氣體中容積氣瓶內部往往要經過研磨處理來降低表面粗糙度，此外還經過加熱烘干、抽真空等處理，降低瓶內腐蝕性介質、水分和氧含量，以滿足使用要求。該類型氣瓶在使用工況、失效模式等方面與普通工業氣瓶也有很大差別。根據氣瓶內部宏觀檢查結果顯示，在一個檢驗周期內的氣瓶內表面仍然光潔發亮，沒有任何腐蝕跡象，并且該類型氣瓶也不存在濕H2S應力腐蝕、銹蝕等失效形式。隨著大量中容積氣瓶進入檢驗周期，對檢驗技術也提出新要求。傳統氣瓶檢驗方法[2-3]以宏觀檢查、水壓試驗為主，這種檢驗方法極大破壞氣瓶使用狀態，對于檢驗完成的氣瓶需進行大量后處理工作才能滿足使用要求，后處理的費用也極高。因此傳統檢驗方法不能滿足需要，必須根據氣瓶制造和使用特點，開發新型檢驗方法，以滿足該類型氣瓶定期檢驗需要。……