一種六維力傳感器及改善六維力傳感器溫度漂移的方法

申請號: 201810882484

【公開號】CN108801531A

【公開日】2018.11.13

【分類號】G01L5/16

【申請日】2018.08.06

【申請人】海伯森技術（深圳）有限公司

【發明人】鄭澤鵬;丁海鵬;王國安;孫久春;吳偉鋒;周飛

【摘 要】本發明涉及傳感器技術領域，特別涉及一種六維力傳感器及改善六維力傳感器溫度偏移的方法，該六維力傳感器包括內圈結構、外圈結構以及均勻分布在內圈和外圈結構之間的若干測量梁。測量梁包括四個臂面，分別為上臂面、上臂面相對的下臂面、左臂面、左臂面相對的右臂面，臂面上均設有應變片，其中，相對臂面上的應變片為一對，內圈結構上對稱開設有偶數個凹槽，凹槽表面均延伸有凸起，凸起上設有位置相互對應的第一溫度補償應變片和第二溫度補償應變片。該六維傳感器改善了傳統六維力傳感器在機械臂末端靠近發熱體時，上下表面存在溫度差而引起的溫漂。