尹志堯和他的中國“芯”

文/高榮偉

他在硅谷從事半導體行業二十多年，專注于等離子體刻蝕設備的研發，個人擁有60多項專利，一度做到美國應用材料公司副總裁。功成名就之后，他出人意料地選擇回國，只因當年一句誓言，“學成只為他日歸來，報效祖國！”他，就是中微半導體設備公司董事長兼CEO尹志堯。

硅谷最有成就的華人之一

尹志堯出生在北京，大學畢業后在甘肅蘭州煉油廠和中科院系統工作了近十年。1978年，“不安分”的他考入北京大學化學系念碩士。在那里，他目睹了當時國內最先進的計算機，內存只有128K，卻占了兩棟大樓，“里面裝著數不清的電子管”。此情此景讓他夜不能寐，改變中國半導體狀況的想法在他心里涌動：“中國的電腦要擁有內存更多、運行更快的芯片！”

1980年，在父親的鼓勵下，尹志堯前往美國加利福尼亞大學洛杉磯分校攻讀博士學位。此后，尹志堯一直在硅谷打拼。一開始，他在英特爾公司工作，負責電漿刻蝕業務。

在英特爾，尹志堯如魚得水。期間，他經常與科林公司打交道，而他的任務之一，就是給對方的刻蝕機找毛病。在此過程中，尹志堯的才華給對方留下了深刻的印象，于是，科林極力邀請他加盟。

這是一個困難的抉擇。英特爾初露王者之相，而科林成立不到六年，因為業績不佳正在大幅裁員。出人意料的是，尹志堯選擇了科林。“也許是對方的困境激起了我內心勇于接受挑戰、敢于戰勝自我的基因?！币緢蚧貞浾f。在科林，尹志堯不負眾望，短短數年便開發出一系列成功的產品，幫助科林斬獲全球40%的市場。

這時，昔日被挑落馬下的霸主美國應用材料公司，也向這個青年才俊拋出了橄欖枝。尹志堯沒有猶豫，果斷接受邀請，迎接下一個人生挑戰。

1991年，尹志堯來到全球最大的半導體設備公司——美國應用材料公司擔任副總裁。應用材料公司是為電子行業提供納米制造技術方案的全球領先企業，在這里，尹志堯參與了刻蝕機的研發工作。眾所周知，刻蝕機是芯片制造的三大核心設備，加工精度在納米級，相當于在一根頭發絲幾千分之一的尺度上，蓋幾十層高樓，或者搭一座立交橋，難度可想而知。

幾年后，戲劇性的一幕出現了，刻蝕機市場的天平再一次向美國應用材料公司傾斜，尹志堯和同伴們所開發的產品，在這個領域占了全世界幾乎50%的份額。在美國應用材料公司，他一干就是14年，先后獲得了86項專利，被譽為“硅谷最有成就的華人之一”。

學成只為他日歸來

2004年，尹志堯已經60歲，但他毅然放棄了美國的百萬年薪，攜30人的創業團隊踏上了回國之路。尹志堯的歸國之舉震驚了硅谷同行。臨行前，美國政府清查了他們所有的電腦和600多萬個文件。

在上海，尹志堯創辦中微半導體設備公司，任董事長兼CEO。回國創業并非易事。為了籌資，他跑遍所有可能注資的機構和企業，卻沒能拿回一分錢。當時，國內對這種幾十億砸不出個水花的行業既不熟悉，也不感冒。無奈之下，他只好求助于硅谷。結果，短短兩周，數十家風投機構就踏破門檻。

此情此景，讓一心報國的尹志堯情何以堪：難道只有美國人能造出刻蝕機？不甘心讓外資控股的尹志堯，將眾多急于入股的風投拒之門外，帶著3900萬美元回到國內。

當時，信息技術正在引領新一輪技術革命浪潮，芯片的研發對于中國信息化至關重要。如果說在工業化時代，鋼鐵是工業的“糧食”，那么在信息化時代，芯片就是現代工業的“糧食”。然而，有人開玩笑說，中國什么都不缺，但是很缺“芯”。中國的芯片行業除了水和空氣以外，其他全是從國外進口的。

半導體芯片是當今尖端制造的制高點，刻蝕機是芯片制造及微觀加工的最重要設備之一，由于行業競爭激烈，幾十年前,這個領域有近三十個玩家，后來只剩下兩三個。中微如果不能在競爭中壯大，就只能等死。

尹志堯說：“要做就做世界第一，做中國第一也會被別人替代！”在半導體行業，尹志堯是少有的既懂技術，又擅長經營的公司掌舵人。早在中學時，他就展現出過人的組織能力，先后做過六年少先隊和共青團工作；到了美國，又發起成立硅谷中國工程師協會，并擔任前兩任主席。這為他創業打下堅實的基礎。

回國僅三年，尹志堯團隊就開發出了第一臺國產的生產半導體芯片的設備——等離子體刻蝕機，在業內首次采用雙反應臺，效率比國外同類產品高出30%以上。

對此，美國公司感到難以置信，作為龍頭老大的應用材料公司“理所當然”地認為，“尹志堯肯定是偷了我們的技術，當初他們肯定私藏了圖紙和資料?！庇谑菍χ形雽w提起專利訴訟。

對此，尹志堯早有準備，回國之際，他就要求團隊，“不許攜帶老東家的任何文件和資料。”美國應用材料公司的律師團隊氣勢洶洶來到中微檢查之后，并未發現任何“盜竊”證據，只好與中微握手言和。這件事導致中微的國際信譽大增。

有人說，中微半導體研發的中國大陸第一臺等離子體蝕刻機，為關鍵設備領域注入了一顆奔騰的中國“芯”。不過，這還只是開始。

沒過多久，中微又推出第二代產品，將刻蝕和除膠整合在一臺設備里，再次顛覆了行業慣例。芯片代工巨頭臺積電布局7納米工藝時，在全球遴選了五家設備供應商，中微是大陸唯一入選的企業。刻蝕機7納米制程是目前人類能夠在大生產線上制造出的最小集成電路布線間距，接近了微觀加工極限。

成功實現第一個目標

當所有的巨頭還在為10納米、7納米技術大肆進軍的時候，中微正式宣布掌握5納米技術。在迄今為止人類開發的最復雜的技術上，中微終于突破了外企壟斷的局面。這是中國半導體歷史上最重要的一筆，也是中國半導體技術第一次比肩世界領先水平。

5納米技術，是一個什么概念？“利用微雕技藝在米粒上刻字，一般能刻200個字已經是極限，而我們的等離子刻蝕機在芯片上的加工工藝，相當于可以在米粒上刻10億個字?！币緢蜻@樣形容。

2015年2月，美國商務部宣布，解除等離子刻蝕機對中國的出口限制，理由是中國已經可以生產相同水平的設備。而迫使美國政府做出這一決定的，正是尹志堯。

憑借占地面積小、產出效率高、質量過硬的特點，中微的產品已經成功打入英特爾、臺積電等一線大廠的生產線，并奪得國內35%的市場。不僅如此，中微還將自己的產品線拓展至硅通孔、傳感器等領域，為意大利、法國半導體、博世等傳感器巨頭提供先進的設備。

“15年追趕，20年超越”是被譽為“半導體國產設備教父”的尹志堯2004年由硅谷歸國時設立的目標。如今十多年過去了，中微芯片技術已與國外同行水平比肩。據了解，目前，中微開發的等離子體刻蝕機已經進入了國際最先進的7納米芯片生產線，并將進入5納米的試生產，成功實現了第一個目標。

中微半導體從事的刻蝕設備研發擁有良好的市場前景?！暗?020年，僅芯片前端設備的市場規模就將達到300億美元至400億美元。”尹志堯說，“我們統計，2016年到2020年，國內共有998億美元總投資，半導體設備投資為748億美元。其中，等離子體刻蝕設備投資大約為134.7億美元，中微的刻蝕機可以分得相當大的份額?！?/p>

尹志堯自豪地說，未來，中國將會變成世界上主要芯片生產制造基地之一。對此，我們充滿信心。