基于PZT的500MHz超聲傳感器設(shè)計(jì)和MEMS制作
2018-08-29 00:44:30劉嘉,王續(xù)博,徐衛(wèi)疆等
傳感器與微系統(tǒng) 2018年7期
關(guān)鍵詞：設(shè)計(jì)
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