造出自主可控的“中國芯”，需要啥裝備

自主可控的“中國芯”是近來備受關注的話題，它直接關系到從日常電子產品到國防安全和科技前沿的方方面面。然而要制造出這樣的“中國芯”，到底需要什么呢？中國電子科技集團有限公司（中國電科）近日在北京舉辦的集成電路核心裝備展上公布了離子注入機、化學機械拋光設備等一系列用于芯片制造的母機。相關人士告訴《環球時報》記者，只有將這些擁有完全自主知識產權的芯片制造設備掌握在自己手里，才能擺脫國外的各種制約。

集成電路芯片及其制造技術是信息時代的基石，是保障國家安全和國防建設的戰略性資源。電科裝備離子注入機研發團隊技術總監張叢告訴《環球時報》記者，當前自主可控“中國芯”的重要性已受到越來越多的重視，但很多人還沒意識到“中國芯”的制造設備也需要自主可控。事實上，此前芯片的制造設備基本被控制在極少數國外企業手中，就連英特爾等芯片巨頭的生產線也得仰仗這些上游供應商。對于中國芯片制造行業而言，這些國外企業不但掌握著對華出口相關設備的定價權，而且還能控制向中國出口設備的技術水準。“如果說國外技術已經發展到第三代，但只愿意向中國提供第一代的設備，那我們就沒法用哪怕是第二代的設備來生產芯片。”此外，由于國外企業對芯片生產設備的嚴格控制，這些先進設備也無法用于航天、軍用等領域的芯片制造上。

這些因素促使我國加快集成電路關鍵裝備的自主研制和生產能力。張叢介紹說，近年我國掌握第二代芯片制造設備的技術后，國外不但大幅降低第一代芯片制造設備的引進價格，而且還批準了第二代設備的對華出口。目前電科自主研發的多臺12英寸離子注入機進入北京中芯國際生產線量產，量產工藝覆蓋至28納米。由于半導體行業是典型的技術密集型和資金密集型，自主掌握芯片制造設備的技術后，無論是繼續引進國外設備，還是選擇國產設備，可以說整個行業都受益匪淺。

張叢也坦承，中國目前在該領域與國際先進水平存在相當差距，部分重要設備還需要技術攻關。但他認為，對于中國而言，掌握自主可控的芯片和芯片制造設備必不可少，這需要社會給予更多支持。▲（馬俊）