一種制備高純氟氣或高純含氟混合氣的方法及裝置

申請(專利)號：201710002091.6

公開(公告)日：2017-05-24

申請(專利權)人：多氟多化工股份有限公司

摘要：本發(fā)明涉及一種制備高純氟氣或高純含氟混合氣的方法及裝置，屬于氟化工技術領域。該方法包括將電解制得的氟氣或者采用電解制得的氟氣調配的含氟混合氣增壓至正壓，過濾后依次進行一級冷凝和二級冷凝；所述一級冷凝的溫度為-60～-100℃，所述二級冷凝的溫度為-120～-180℃。該方法所得氟氣產品的純度達到99.9%以上，滿足現有電子行業(yè)和精細化工的生產用氟氣要求；所得含氟混合氣的純度達到99.9%以上，滿足含氟特種氣體的生產要求；整體上提高了氟氣產品的質量，拓展了應用市場，降低了生產過程中因氟氣或含氟混合氣純度不高而造成的下游成品的不合格率，具有良好的經濟價值和廣闊的應用前景。