晉華配套氣體項目進(jìn)程過半

近日，從晉華存儲器集成電路項目建設(shè)現(xiàn)場獲悉，晉華項目配套氣體項目美國空氣化工項目建設(shè)總體進(jìn)度已經(jīng)完成60%，部分氣體預(yù)計5月份可以率先實(shí)現(xiàn)對晉華主廠房的供應(yīng)能力。

在項目現(xiàn)場看到，直徑、顏色不一的氣罐齊整地矗立在晉華主廠房的一側(cè)，最高的罐體高達(dá)六七層樓，密布的氣體管道一頭連接著罐體，另一頭向主廠房延伸。據(jù)悉，該項目自去年10月份開始正式施工建設(shè)，已經(jīng)過樁基施工、配套建筑施工及部分罐體安裝、管道鋪設(shè)等多方面的建設(shè)。

“近期，我們要完成氣罐中最大的液氮罐體的安裝，包括對其內(nèi)部保溫層在內(nèi)的工藝制造，同時還有配套的管路排布。”跟蹤氣體項目的相關(guān)負(fù)責(zé)人小林介紹，該罐體容積達(dá)到2000 m3，直徑超過15 m，高度達(dá)到18.5 m，無法整罐運(yùn)輸，所以是唯一在現(xiàn)場通過一圈一圈焊接的方式進(jìn)行組裝的罐體，“罐體安裝方面，目前僅剩最后一個罐體還未進(jìn)場。”

據(jù)悉，項目現(xiàn)場有200多名施工人員正在對罐體和管道進(jìn)行焊接、組裝等工作，后續(xù)工人數(shù)將有所增加。此外，配套氣體純化設(shè)備廠房已經(jīng)建設(shè)完畢，近期部分氣體純化設(shè)備將陸續(xù)進(jìn)場，配套氣體設(shè)備進(jìn)來之后還將進(jìn)行相應(yīng)的管道分布施工。

據(jù)了解，半導(dǎo)體氣體是集成電路制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”，其純度和潔凈度直接影響到產(chǎn)品的質(zhì)量、集成度、成品率等。這使得晉華配套氣體項目尤為關(guān)鍵。

“包括蝕刻等在內(nèi)的制造過程中的工藝，都需要純度非常高的氣體。”小林告訴記者，項目完成后，空氣化工公司方面將為晉華方面提供多種氣體，為集成電路整個制造流程所涉及的工藝提供高純度的氣體供應(yīng)，“這些低壓液態(tài)罐體將儲存和供應(yīng)制造所需氣體。而項目還將就地生產(chǎn)部分需求氣體。”

今年9月，晉華項目一期主廠房將正式投入生產(chǎn)，氮?dú)鈱⑹菚x華項目最早的氣體需求。

“我們預(yù)計在5月上旬完成相應(yīng)的施工進(jìn)度，能夠滿足項目對氮?dú)獾膶?shí)際需求，提前達(dá)到部分氣體的供應(yīng)能力。同時，我們希望能夠滿足后續(xù)機(jī)臺進(jìn)來之后的調(diào)試及實(shí)際投產(chǎn)的需要。”相關(guān)負(fù)責(zé)人表示。