一種基于隨機編碼混合光柵的可變剪切率的波前傳感器

申請號: 201720038083.2

【公開號】CN206540633U

【公開日】2017.10.03

【分類號】G01J9/02

【申請日】2017.01.13

【申請人】杭州晶耐科光電技術有限公司

【發明人】曹頻

【摘 要】本實用新型公開了一種基于隨機編碼混合光柵的可變剪切率的波前傳感器。本實用新型包括由振幅光柵和相位光柵所組成的隨機編碼混合光柵，CCD及機械調節裝置。待測波前經光柵后衍射產生四個子波，產生的四波前干涉圖由CCD接收。技術特點是實現了剪切率隨光柵與CCD之間距離改變而連續變化，使波前傳感器通用性更強。橫向剪切干涉中，剪切率選取小檢測精度高，但靈敏度低，剪切率過大則精度下降，因此在檢測中實現任意剪切率選擇具有重要意義。本實用新型基于共路橫向剪切干涉原理，無額外參考光路，抗干擾能力強，抗震性好，穩定性高，能在一般的環境中實現高精度檢測。