半導體設備預測性維修技術分析

羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

半導體設備預測性維修技術分析

羅欣

（陜西省西安法拉電氣有限公司，陜西 西安 710304）

多年的調查分析研究表明，預測性維修技術是維修領域近年來研究的重點對象，對其關注度逐漸提升。本文從預測性維修技術出發，首先分析故障后維修和預防性維修以及預測性維修，對三者的不同點和相同點及各自的優缺點做了相應的論述。近年來的半導體設備主要都是流水線作業生產，因此在流水線生產的過程中，只要有其中任何一臺設備出現問題或發生故障，流水線作業的中斷都會使整個作業過程中斷，給公司或企業帶來經濟損失。

半導體設備；故障后維修；預防性維修；預測性維修；技術分析

隨著現代科學技術的不斷發展，設備制造技術也越來越先進，設備自身構造也越來越復雜。因此使得半導體設備的維修技術面臨著前所未有的挑戰，也對半導體設備維修人員的專業知識提出了更高的要求。本文主要對半導體設備的故障后維修和預防性維修以及預測性維修技術進行了相關的分析，由于預測性維修技術作為維修技術中心新方向，也成為一種新型的維修方式，相對于傳統的其他維修方式，有更多的優點和可取之處，從長遠角度來看其發展的空間和實用性還是比較大的。

1 維修方式的發展

按照半導體設備的運行狀態和維修的時間，從維修方角度的方式出發，在故障前進行了維修，屬于故障前維修，在故障后進行維修，屬于故障后維修。如果從維修所使用的依據的角度出發，可以將故障前維修分為預防性維修和預測性維修。

故障后維修主要是指的事后維修，主要是在故障發生之后存在故障的情況下才有維修的這個過程，主要維修依據是設備是否正常運作或者設備是否整體完好，如果設備遭到損壞之后再維修并不屬于修復性維修，這種屬于因為不在原定計劃范圍內的維修，因此叫做非計劃性維修。

1.1 預防性維修的概述

預防性維修主要指的是以一段時間或者一段時間的時間間隔為維修依據，定時對機器進行檢修，也就是定時進行預防性維修，其檢修的間隔時間的設置可以參照相關企業的生產計劃，企業經驗和具體的生活環境等等因素，這些問題都可以請教專業的維修技術人員，大部分企業主要是根據和企業相關的生產計劃和豐富的生產經驗，按照規定的時間間隔進行維修，應經常更換一些容易受到磨損的小零件，來防止由于小零件帶來的小問題而使得整個生產線停產整頓等危害事件的發生和損失的進一步擴大，導致機器設備的損壞。從目前的情況來看，這種維修方法還是目前維修技術中比較先進和常用的方法，也就是我們在日常生活中所說的以不變應萬變采用的計劃維修和定期維修，根據具體情況的不同，可以設置成不同程度的，比如大修、小修和中修等不同的修理情況。

1.2 預測性維修的概述

預測性維修主要是以工作狀態和機器的運轉狀態為依據，對機器設備進行實時監控，并且當機器在正常工作狀態下運行時，對它的主要技術參數作出測量和相關參數的記錄，當發現問題時，可以對機器設備的狀態進行監測，然后請相關的專業技術維修人員進行相應的故障排除與診斷，不僅可以判定設備當前所處的工作狀態是否處于正常狀態，還可以預測一段時間以內設備狀態的未來趨勢。預測性維修不僅不需要定時定期的對于相關的機器設備進行檢查，還僅僅只需要做好對工作機器設備狀態的監測和故障診斷以及故障排查與修復，并且根據所出現的問題，有針對性的提出維修的解決方案后，將措施真正的進一步落實，故障排除和故障維修融為一體，這是一種非常新型的維修技術運作方式。

1.3 預測性維修的意義

預測性維修不同于傳統的維修方式，在對半導體設備進行管理時一個非常重要的環節，雖然在某種程度上來看，目前它并不能取代定時和定期維修，但是目前可以通過對其工作狀態的監測，提前了解相應的資料和工作說明。

這種監測和實時監控的模式對于流水線作業的產品來說還是非常有必要的，因為在正常的生產過程中，只要某個失誤或者不確定因素造成這個設備無法使用時，只要有一臺工作設備出現故障，那么整個生產的過程就需要停止并檢查出問題所在，只有在排除故障之后，方可正常運行，在定時定量的更新設備的同時，也要注重實時監控技術，對于比較重要的關鍵設備可以進行實時監控，選用預測性維修，就可以貫徹執行并落實預防性維修維護的依據和范圍。從內部斷絕隱患從而避免對半導體設備造成本身的損失。

對半導體設備進行實時監控，不僅有利于現代設備維修，符合生產流水線的要求，并且可以逐步減少故障率，大大減少了新的培訓維修的費用，這樣更有利于大家貫徹執行預防性維護技術的基礎對策和措施。

2 半導體設備維修管理模式建議

首先是堅持預防為主，防治結合的原則，從根本上斷絕設備事故出現的概率，最大限度的減少設備故障的發生可能性。

其次是建立較為完善標準的文件，從設備技術到技術保護的標準。

再次就是需要有關部門建立健全并完善相應的法律法規，使維修性技術能夠得到大幅的提升，而不是游走在法律的邊緣。

此外，還需要相關管理人員明確管理目標，樹立正確的觀念，堅持全面協調可持續發展，在堅持安全第一的前提條件下又好又快的發展經濟。

最后是可以對于生產過程中的流水線上一些關鍵的設備設置監控和檢測，監控并檢測對于可能存在的需要使用的數據，例如溫度、壓強真空、電流、電壓等一系列的設備參數，可以通過監控來及時有效、準確無誤的把握整個流水線生產過程中的每一臺機器的運作情況，因此從這個角度來看，預測性檢測還是非常有幫助的。相關管理人員和相關專業人士更要及時對系統存在的問題進行相應的排查。

3 半導體設備預測性維修分析

從目前的情況來看，預測性維修主要是通過實時的監控，并根據狀態監測進行調整，相關監控設備主要是根據所設定的時間來定期或連續不斷的對設備進行狀態監測，以期來保證機器的正常運作和整個生產流水線過程的適應性。如果出現問題就會發出警報；如果發出警報，說明流水線作業的某一環節出現了問題，這就需要相關技術人員及時查清故障發生部位，設備是否運行正常，有無相關故障，或是否存在故障的發展趨勢和潛在問題，根據實際具體的情況再適當的安排維修情況。

首先要對流水生產線上的每一臺設備都制定設備臺賬賬本，記錄每一臺設備的故障原因的發生時間，持續時間，維修方法以及維修結果，這樣就如同醫院看病的病歷，保持對過去記錄的備錄在案，這樣能幫助我們又快又好的找到故障設備的故障和問題存在。第二，要對設備正常工作運轉時的相關動態參數加以記錄，例如波動范圍，對于壓力、壓強的控制等等，需要每天有專職人員對其進行檢查并記錄在案。根據每天的巡查和記錄，我們需要了解的是故障診斷是指不定期或者是值得記錄的相關重要設備進行狀態監測，并將有關結果記錄在案。根據其結果確定設備有無狀態異常或者故障趨勢，然后相關技術人員和專業人士對數據進行分析和處理，并對可能出現故障的設備加以維修，這不僅僅提高了工作上的效率，還大大節省了時間，一舉兩得。相關維修技術人員也需要充分的了解他們的專業知識，應該查清故障設備的內部運轉情況并發現問題，有針對性的對所提出的問題進行相應的改變，維修好之后也要及時考慮如何加強防范措施并且加以總結反思，記錄在案，這樣也是對維修工作的極大幫助。

4 結語

僅僅依靠人工來對設備進行故障分析和故障排查，不僅消耗了大量的人力物力，而且由于人工監控存在不連續性和不準確性，可能遺漏一些重要的參數。如果要對半導體設備預測性維修，做到真正實際科學的監控，還需要科學技術進一步的支持和幫助，利用科學技術設備來對生產流水線上的主要設備進行實時監控，保證生產生活的順利進行，并且要時刻保持對先進科學技術發展的關注，為我國半導體設備的預測性維修技術作出應有的貢獻。

[1]艾恩溪．解讀集成電路產業發展推進綱要暢談發展大計[J]．集成電路應用，2014(12)．

[2]電力設備維修診斷與預防性試驗[M]．北京：中國電力出版社，2014

[3]預測性維修原理及其應用[J]．化工機械，2006．

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1671-0711（2017）09（上）-0068-02