直接進樣氣相色譜質譜法同時測定固定污染源排氣中的含氟溫室氣體

王美飛，楊麗莉，胡恩宇，沈敏

(南京市環境監測中心站，江蘇 南京 210013)

·監測技術·

王美飛，楊麗莉，胡恩宇，沈敏

(南京市環境監測中心站，江蘇 南京 210013)

建立了一種直接進樣-氣相色譜質譜法同時分離和測定固定污染源排氣中三氟甲烷、四氟甲烷、六氟乙烷和六氟化硫等含氟溫室氣體的方法。使用CP-SillicaPLOT毛細管填充柱可使上述4種目標化合物實現基線分離。分別用全掃描模式和選擇離子掃描模式進行定量分析，方法檢出限分別為0.12，0.19，0.10 ，0.08 mg/m3和2.8，3.4，1.7，3.1 μg/m3。探討了樣品保存容器與保存時間對樣品濃度衰減的影響，指出Tedlar采樣袋或鋁塑復合膜采樣袋可以較長時間保存樣品，在常溫下，樣品可保存至少7 d。實際樣品測定結果表明方法快速、簡便，適用于固定污染源排氣中含氟溫室氣體的測定。

含氟溫室氣體；氣質聯用法；固定污染源

三氟甲烷(CHF3)、四氟甲烷(CF4)和六氟乙烷(C2F6)作為氫氟烴(HFCs)與全氟化碳(PFCs)家族中的典型代表，是理想的等離子蝕刻氣體，在微電子工業中具有廣泛應用。六氟化硫(SF6)因其良好的電氣絕緣及優異的滅弧性能而在電氣工業領域被廣泛利用。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。

然而，這類含氟氣體卻具有很強的溫室效應，約為等量二氧化碳的2.3萬倍。溫室效應已成為世界關注的焦點[1]，有學者針對二氧化碳的濃度變化作過研究[2-3]，但國內對于上述含氟溫室氣體的研究甚少。

測定固定污染源中含氟溫室氣體的排放濃度可為溫室氣體減排核算提供技術支撐，因此，建立快捷、高效測定固定污染源排氣中含氟溫室氣體的方法具有實際意義。……