趙超：一個海外學子的回鄉(xiāng)路

方方　王輝

2016年年初，第三屆“最美邳州人”頒獎儀式啟動，趙超榜上有名。

在邳州之外，他曾是歐洲微電子中心（1MEc）資深科學家，也是現(xiàn)任中國科學院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主任、國家“千人計劃”專家；在邳州，他為邳州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的形成獻智獻策，成為一位智珠在握、有口皆碑的“軍師”。

邳州人趙超，離開家鄉(xiāng)時還是個小小少年。隨后的30余年中，他從南京走到哈爾濱，告別山東變身歐洲“海漂”，又從比利時魯汶“飛回”中國北京。真正踩到邳州土地上時，已經(jīng)是2012年了。這條回鄉(xiāng)之路，他走了很久。

從“海漂”到“海歸”

魯汶大學附近，就是世界著名的歐洲微電子研發(fā)中心（JMEc）。1994年起，趙超在魯汶大學攻讀博士學位，因為所從事的項目，經(jīng)常與lMEC往來。臨近畢業(yè)時，他順理成章地想到要去IMEC謀職。

他申請的崗位與“銅互連”有關(guān)，在集成電路工藝中，這屬于后道工序。面試極具戲劇性，“銅互連”項目負責人對趙超說了“歡迎”之后，IMEC人事處卻開始挖自己人的墻角。“我們這里還有另外一個項目更需要你。”對方說的是高K/金屬柵項目。

上世紀90年代末，高K/金屬柵剛剛進入微電子界，IMEC自然把握住這個熱點，想要做出一番成績。剛巧，趙超在魯汶大學從事的氧化鋯、氧化鉿、氧化鋁等材料研發(fā)與高K/金屬柵工業(yè)化材料屬于同一體系。仔細考慮過后，趙超選擇加入IMEc的高K團隊，成為全世界第一批采用8英寸ALD設(shè)備開展高K/金屬柵研發(fā)的科學家。

“2004年之前的筆記本電腦放在桌子上，能把桌子烤糊。高K/金屬柵出現(xiàn)之前，工業(yè)界采用氮氧化硅層作為柵介質(zhì)，但只有1納米左右，即使靜態(tài)也會大量漏電，功耗極高，如果不改換材料，到今天的技術(shù)代，產(chǎn)生的熱量早就把芯片熔化掉了。用高K/金屬柵代替之后，介質(zhì)層的物理厚度會增加，減少漏電。這在當時是技術(shù)進步最大的一個瓶頸。如果沒有解決這個瓶頸，就不會有現(xiàn)在的28納米、16納米技術(shù)。”

自稱“撞“到項目中的趙超，更愿意用“偵察”來形容自己的工作。“IMEC所從事的先導(dǎo)技術(shù)研究是在工業(yè)界的大部隊到來之前，把技術(shù)里可能存在的‘雷給排除掉，讓大部隊走得更快更穩(wěn)健，同時節(jié)省研發(fā)成本。”

IMEc的10年，從最早的8英寸線到后來的12英寸線，從前道的高K到后道的銅互連，趙超都做了比較系統(tǒng)的工作，先后發(fā)表了130多篇論文，取得了數(shù)項國際核心專利。然而科研之旅走得越順暢，他的歸國之心就越發(fā)強烈，曾數(shù)次借“春暉計劃”回國進行學術(shù)交流。

2009年10月，趙超飛往重慶參加科協(xié)舉辦的年會。聽聞這個消息，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦院士希望他們一行人能到微系統(tǒng)所做學術(shù)交流。當時，02專項已經(jīng)啟動，王曦院士為專項副總師，總師由中國科學院微電子所所長葉甜春擔任。趙超的簡歷發(fā)到微系統(tǒng)所后，或者是因為他的研究與02專項息息相關(guān)，王曦院士轉(zhuǎn)手就把簡歷傳給了葉甜春所長。結(jié)果是，趙超還在趕往上海的途中，葉甜春已經(jīng)在微系統(tǒng)所等著他了。

作為02專項的總師，葉甜春談的是國家戰(zhàn)略和微電子所在其中承擔的任務(wù)——“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺建設(shè)”。“為了這個項目，國家投入幾個億，由微電子所牽頭，聯(lián)合清華大學、北京大學、復(fù)旦大學和微系統(tǒng)所，組織起一個全國攻關(guān)項目。現(xiàn)在已經(jīng)有一些來自JBM等企業(yè)的人才加入，但是我們還缺一個對工藝線有全面了解的人。”葉甜春說，“我覺得你特別適合，你能不能回國和我們一起做這件事？”

趙超被打動了。在國外做得再久，也還是想能為自己的國家做些事情。更何況，他熱愛具有挑戰(zhàn)性的事業(yè)，“人這一生，能有多少次機會從零開始建一條工藝線、組一個團隊、搭一個平臺？”

他決定迎接挑戰(zhàn)，回國。

初入邳州試身手

回國之后，趙超的工作很快步入正軌，他一邊忙著“先導(dǎo)工藝技術(shù)開放平臺”建設(shè)，一邊投入22納米技術(shù)關(guān)鍵工藝研發(fā)。日子過得緊張、忙碌而又充實。直到有一天接到一個電話，一個來自邳州市委組織部的電話。

電話內(nèi)容很簡單，問候過后就是表示“歡迎有機會回邳州看看”。這樣的問候電話，整整持續(xù)了兩年，每個節(jié)假日都沒有落下過，趙超的心也在這一次次的電話里泛起了漣漪。

“邳州是徐州下屬的一個縣級市，我出生在那里，但是到7歲就離開了。”于趙超而言，邳州是沉淀在荏苒時光里的少年記憶。那里水資源充沛，按流向歸宿分為中運河、沂河、邳洪河三大水系，而不管是運河決口，還是沂河水下山，都會殃及邳州城，讓它身不由己地成為一條“洪水走廊”。在他的印象里，當?shù)厝饲锾熘环N高梁，因為就算遇到洪水，也能有一點收成。隔著電話，趙超仿佛又回到了少年時的邳州。但無法否認的是，時隔多年，對于邳州，他是既惦念又陌生的，這也令他不斷自問：“我到底能為邳州做點什么？”

2012年，江蘇省組織了一次與中國科學院的人才對接活動，地點定在北京西直門。趙超在那里見到了時任邳州組織部干部科科長的宋勇。在宋勇口中，他得知邳州有一家“博康信息化學品有限公司”（以下簡稱“博康”），生產(chǎn)光刻膠原材料，產(chǎn)品已經(jīng)出口到了日本。

趙超當然知道光刻膠是集成電路產(chǎn)業(yè)中最關(guān)鍵的材料之一，他沒想到的是印象里的農(nóng)業(yè)大縣居然在集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)上做出了這樣的成績。在宋勇的牽線下，趙超結(jié)識了博康董事長傅志偉。

說起來，兩人也算是南京大學校友。傅志偉的創(chuàng)業(yè)是從醫(yī)藥中間體開始的。所謂醫(yī)藥中間體，實際上是一些用于藥品合成工藝過程中的化工產(chǎn)品。這種化工產(chǎn)品，不需要藥品生產(chǎn)許可證，可以在普通的化工廠生產(chǎn)，可用于藥品的合成。“有一次，一家日本企業(yè)跟他們說，你們可以試著開發(fā)一些金剛烷系列的材料，如果達到了純度，就可以考慮用你們的產(chǎn)品。從開始嘗試到接下訂單，他們經(jīng)歷了艱難的技術(shù)創(chuàng)新過程，最終在提純工藝上做出了突破，將粘污雜質(zhì)的控制挪到了源頭上，一下子就降低了生產(chǎn)成本，提高了產(chǎn)率。他們的產(chǎn)品也逐漸在日本市場上占據(jù)了穩(wěn)定的市場份額。”趙超介紹說。

博康當然也有自己的苦惱，他們能夠生產(chǎn)用于集成電路制造的原材料，但以化工起家的他們對集成電路行業(yè)的了解有限。如何在已有成績的基礎(chǔ)上謀求更大的發(fā)展成為他們必須解決的急迫問題。傅志偉很誠懇地向自己的老鄉(xiāng)兼校友求援。

“既然與我的專業(yè)相關(guān)，我一定不遺余力。”在接洽過程中，趙超表示。不久，他帶著團隊來到邳州。經(jīng)過細致地考察，他在先進光刻膠的開發(fā)和市場戰(zhàn)略上為博康制定了一份路線圖——在穩(wěn)定現(xiàn)有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，跳出僅生產(chǎn)光刻膠原材料的圈子，從配方膠著手生產(chǎn)應(yīng)用級別的光刻膠。第一步，先瞄準電子束光刻膠。“與大生產(chǎn)用的紫外光刻膠相比，電子束光刻膠的市場規(guī)模要小很多，但進入的門檻也就比較低。由于種種原因，國外在電子束光刻膠上對我們禁運。”在這方面取得突破，既能夠帶來一定的經(jīng)濟效益，還能夠填補國內(nèi)空白，使企業(yè)在業(yè)內(nèi)產(chǎn)生一定的影響力，是初入光刻膠領(lǐng)域的最佳選擇。“關(guān)鍵是通過電子束光刻膠，把博康的團隊建設(shè)起來，站穩(wěn)了腳步之后再開發(fā)生產(chǎn)用量比較大的光刻膠，形成一個良性循環(huán)。”他補充道。

之后，趙超直接促成了博康與中國科學院微電子所的技術(shù)合作，建成了博康一中科院微電子所聯(lián)合實驗室，與博康一起為先進光刻材料研發(fā)努力。現(xiàn)在，博康的電子束光刻膠和248納米光刻膠均已實現(xiàn)批量銷售，企業(yè)最新研發(fā)的光刻膠單體實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)并大批量出口。用業(yè)界的話說，博康的光刻膠單體和光刻膠產(chǎn)品的質(zhì)量和性能已經(jīng)達到甚至超過國外廠商的同類產(chǎn)品，解決了中國光刻技術(shù)發(fā)展在源頭材料方面的瓶頸問題，部分光刻膠單體和光刻膠產(chǎn)品的技術(shù)指標達到世界先進水平。“我只是跟傅總在戰(zhàn)略層面上做了一點點工作，還是博康的團隊做得好。”面對博康同事的夸獎，趙超淡然地說。

一個游子的“邳州夢”

就在與博康討論光刻膠發(fā)展路線的時候，一次偶然，微電子所的同事推薦了一個做激光直寫光刻機的團隊。當時，該團隊遇到了一系列困難，正處在解散的邊緣。“其實，這個團隊的技術(shù)成熟度很高，只是經(jīng)營狀況不太好，如果能夠把這個團隊穩(wěn)定住，踢出面向市場的‘臨門一腳，完全可能培養(yǎng)出一個很健康的企業(yè)來。”

察覺到這一點，趙超和他微電子所的同事立刻行動起來。在他們的協(xié)調(diào)之下，博康與該團隊達成了共識，僅僅兩個月，組建了新公司“影速”，落戶邳州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)。經(jīng)過兩年多的運營，影速已經(jīng)成長為一個實力雄厚朝氣蓬勃的有行業(yè)影響的設(shè)備企業(yè)。除了邳州的生產(chǎn)基地，影速還在無錫開設(shè)了研發(fā)中心，目前，已經(jīng)有20多臺設(shè)備銷售到生產(chǎn)企業(yè)，創(chuàng)造了幾千萬的利潤。影速光刻機的性能，即使是與德國競爭對手的老牌產(chǎn)品打擂臺，也毫不遜色。更何況，他們的設(shè)備物美價廉，從性價比上來說更容易在國際同類產(chǎn)品中脫穎而出。“前些天在臺灣的展會上，還接到3臺訂單，正式進入臺灣市場。”趙超深深地為影速的成績自豪。

影速的發(fā)展，使博康在集團化的道路上越走越遠。近年來，博康摘下了“江蘇省雙創(chuàng)團隊”“江蘇省博士后創(chuàng)新實踐基地”等榮譽，多次被授予“邳州重大貢獻獎”，成為集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟會員，被認定為江蘇省企業(yè)技術(shù)中心和國家高新技術(shù)企業(yè)，成為蘇北地區(qū)一顆冉冉升起的明星。最近，趙超又幫助博康收購了位于英國劍橋的一家高科技企業(yè)，播下了博康又一顆希望的種子。

博康，是趙超參與邳州產(chǎn)業(yè)化發(fā)展工作的第一個案例，也是他在產(chǎn)學研結(jié)合上一個成功的嘗試。之后，有更多的企業(yè)在他的策劃和引薦下，落地邳州，生根發(fā)芽。2015年9月，江蘇魯汶儀器有限公司在邳州創(chuàng)立。該公司的海外團隊正是趙超借由在比利時的資源優(yōu)勢引入邳州的。到201 6年，魯汶儀器已經(jīng)下線了兩個中國首臺套設(shè)備，建立了諾貝爾獎獲得者工作站，獲評江蘇省雙創(chuàng)團隊，并在創(chuàng)建一年之內(nèi)，就實現(xiàn)了兩臺套設(shè)備的銷售。值得一提的是，魯汶儀器在邳州的發(fā)展也引起了比利時另一家企業(yè)實唯半導(dǎo)體的關(guān)注。“實唯是我在IMEc的同事創(chuàng)立的，現(xiàn)在也已經(jīng)在邳州扎根。”

“引智引資”，是趙超回到邳州之后一直做的事情，他認為自己是在搭建一座橋梁，使邳州產(chǎn)業(yè)界和前沿技術(shù)之間實現(xiàn)信息對等交流，幫助他們做出更專業(yè)、更具戰(zhàn)略眼光的判斷。授人以魚不如授人以漁，在更多時候，趙超更希望在邳州播下的是一顆“火種”，將他對集成電路產(chǎn)業(yè)的理解傳遞給邳州。此前，他所做的“半導(dǎo)體技術(shù)基礎(chǔ)知識”講座，為邳州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)的干部普及了該產(chǎn)業(yè)的“常識”，也為開發(fā)區(qū)的招商引資活動奠定了基礎(chǔ)。而后，他又積極參與邳州市委的“精進書院”活動，在其中主講了“全球集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展狀況及邳州面臨的機遇與挑戰(zhàn)”。

“講座涉及集成電路和半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)在全球范圍內(nèi)的發(fā)展概況，并對該產(chǎn)業(yè)鏈在邳州的戰(zhàn)略性發(fā)展機遇和需要解決的問題進行分析。”趙超總結(jié)了報告的內(nèi)容。至今，他還為邳州市干部的工作和學習熱情所感動。他談起當時作報告的場景：他在臺上講邳州發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的優(yōu)勢、劣勢和規(guī)劃，臺下聽講的干部反響熱烈，回應(yīng)積極，結(jié)果這場報告一下子講了四個半小時，臺上臺下都忘記了午飯時間。

報告后，邳州開發(fā)區(qū)開始編制半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展路線圖。開發(fā)區(qū)領(lǐng)導(dǎo)要求參加編寫路線圖的每一位干部都要對編寫的內(nèi)容進行詳細系統(tǒng)的介紹。那時候，趙超多次在半夜接到邳州的電話，請他就某一個問題進行把關(guān)。一場場匯報之后，邳州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)負責招商引資的干部們都成了行業(yè)專家，令前來邳州洽談落戶的業(yè)內(nèi)企業(yè)家驚訝不已。

“邳州這樣的地方，最大的劣勢是人才匱乏。”趙超說。在他看來，徐州通了高鐵之后，與北京、上海位于3小時交通圈內(nèi)，有利于利用兩地的智力資源，可以考慮將研發(fā)中心放在大城市，生產(chǎn)基地放在邳州。這一個便利點，在邳州高鐵建設(shè)提上日程之后將更為明顯。“邳州政府也在部署建立智庫，為企業(yè)延攬人才。有了人才隊伍，才能把產(chǎn)業(yè)做起來，有了產(chǎn)業(yè)，才能把更多的人才吸引進來。”

這幾年來，趙超時常往返于北京和邳州之間。回邳州的這幾年，他感動于邳州干部的敬業(yè)氛圍。“老家人是真的想做實事，也真的把當初的戰(zhàn)略計劃看作是他們自己的‘邳州夢，最終落實成了開發(fā)區(qū)里孵化的一個個企業(yè)。”“沒有我們當初的見面，就沒有現(xiàn)在邳州的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。”邳州市委組織部如此對趙超說。但在趙超心里，這其實也是他的“邳州夢”。這個邳州是曾經(jīng)養(yǎng)育過他的邳州，看著這個曾經(jīng)貧困的故鄉(xiāng)一天天改變著模樣，而這其中也有自己做出的那么一點點貢獻，他心里充滿快樂。

雙城記中的雙贏

2009年至2014年，承擔國家科技重大專項02專項“22納米關(guān)鍵工藝技術(shù)先導(dǎo)研究與平臺建設(shè)”，擔任“先導(dǎo)工藝技術(shù)開放平臺“首席科學家。項目歷時5年，參研人數(shù)數(shù)百人，完成了國際水平的工藝研發(fā)平臺建設(shè)和22納米技術(shù)關(guān)鍵工藝解決方案。

2012年至2015年，承擔國家科技重大專項02專項“16/14納米基礎(chǔ)技術(shù)研究”，擔任項目負責人。項目歷時3年，完成了16納米FinFETs技術(shù)研發(fā)，成果達到國際先進水平。

新材料，新工藝的探索性研究，high-k金屬柵，高遷移率溝道，新刻蝕工藝、清洗工藝，后柵工藝中的難點問題……

回國以來，趙超帶著他的先導(dǎo)工藝研發(fā)中心真刀實槍地打響了大大小小的戰(zhàn)役。這樣緊鑼密鼓的日程里，還要在北京和邳州之間上演“雙城記”，堅持下來著實不易。趙超自己卻覺得沒什么，“對邳州和研發(fā)中心來說，我做的事情是雙贏的”。

他所說的“雙贏”最早來自對博康光刻膠戰(zhàn)略的策劃。“做光刻膠需要有大型光刻機設(shè)備來對其質(zhì)量進行驗證。但對公司來說，要建設(shè)安裝設(shè)備的超凈車間，培養(yǎng)專業(yè)工藝團隊都需要很多資金和時間。采購這種光刻機價值兩千多萬，如何安置是個大問題。”為了解決這個問題，博康最終決定把設(shè)備放在先導(dǎo)工藝研發(fā)中心的工藝線上。“這樣一來，運用該設(shè)備，我們不僅可以及時為博康提供驗證服務(wù)，還可以支撐我們的日常科研工作。”趙超說，這些設(shè)備構(gòu)成了他們的聯(lián)合實驗室的重要基礎(chǔ)。

“能夠扶持地方產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，所（微電子所）里也很支持。”趙超補充道。在隨后的幾年，中國科學院微電子所和邳州建立了良好的對接關(guān)系，而影速和魯汶儀器等公司入駐邳州，微電子所也入股其中，從技術(shù)和人員上進行全方位的支持。

幾年下來，趙超團隊建立起自主知識產(chǎn)權(quán)引領(lǐng)下的科研模式，始終堅持“專利先行”的戰(zhàn)略。“專利不是論文，是經(jīng)濟利益。”他們的目標是做真正能保護中國產(chǎn)業(yè)的“專利池”，為國內(nèi)企業(yè)贏得與國外領(lǐng)先企業(yè)實現(xiàn)專利交互授權(quán)的機會。目前，據(jù)國際上公開發(fā)表的技術(shù)發(fā)展研究報告，中心在FinFET領(lǐng)域的專利族數(shù)量排第十一，質(zhì)量全球第一。研發(fā)中心的1200項專利已實現(xiàn)使用權(quán)向企業(yè)的轉(zhuǎn)移。他們也把先導(dǎo)工藝研發(fā)中心建成了一個開放性的平臺，超凈廠房和8英寸研發(fā)線向全社會開放，為全國幾十家企業(yè)，提供產(chǎn)品級和工藝級的研發(fā)服務(wù)。

“能在這么短的時間里，建成這樣的平臺為企業(yè)提供服務(wù)，你們是真做事的人！”每次聽到國外的同行對他們工作的這種評價，趙超都很欣慰。作為研發(fā)中心的掌舵者，他還將一如既往地努力，把研發(fā)平臺這條船駛向更廣闊的海面。