一種可拉伸半導體電阻式柔性氣體傳感器及其制備方法
2017-03-24 03:37:41
傳感器世界 2017年11期
申請號: 201710007556.7
【公開號】 CN106814110A
【公開日】 2017.06.09
【分類號】 G01N27/12
【申請日】 2017.01.05
【申請人】 華中科技大學
【發明人】 劉歡;臧劍鋒;宋志龍;黃釗
【摘 要】 本發明公開了一種具有微褶皺薄膜結構的可拉伸半導體電阻式柔性氣體傳感器及其制備方法。采用具有可拉伸特性的絕緣襯底 聚丙烯酸酯雙面泡綿膠帶(VeryHighBond，VHB)，將其單向預拉伸一定的程度固定在剛性基底上；并在預拉伸狀態的VHB襯底上進行圖案化的石墨烯電極和膠體量子點薄膜的制備，繼而緩慢回縮VHB襯底后，完成傳感器制備。制備的氣體傳感器具有微褶皺薄膜結構的氣敏層和圖案化的石墨烯電極，傳感器具有可拉伸的柔性特征，制作溫度和工作溫度可低至室溫，室溫下可檢測氣體濃度的瞬間或微量變化，響應恢復速度快且靈敏度高，同時該氣體傳感器具有一定的抗環境濕度干擾特性，具有更好的長期穩定性。
