高純安全系統特氣柜機械系統設計
2016-12-31 00:00:00陳勝
科技創新與應用 2016年20期
摘 要：高純安全系統特氣柜主要用于電子、化工、制藥等生產線上。文章對高純安全系統特氣柜進行了設計，主要包括氣路主系統、抽真空系統、吹掃供氣系統、柜體設計等。
關鍵詞：高純安全系統；特氣柜機械系統；設計
摘 要：高純安全系統特氣柜主要用于電子、化工、制藥等生產線上。文章對高純安全系統特氣柜進行了設計，主要包括氣路主系統、抽真空系統、吹掃供氣系統、柜體設計等。
關鍵詞：高純安全系統；特氣柜機械系統；設計
