多晶硅渣漿處理工藝與旋轉式間接干燥機

陳幼軍 何惠民

(中國石化集團南京工程有限公司)

多晶硅渣漿處理工藝與旋轉式間接干燥機

陳幼軍*何惠民

(中國石化集團南京工程有限公司)

敘述了多晶硅渣漿處理方法，給出了渣漿的干燥水解工藝，并對耙式干燥機和旋轉式間接干燥機進行了比較。最終選擇旋轉式間接干燥機作為渣漿處理干燥機，并介紹了其結構與工作原理。

旋轉式間接干燥機 渣漿處理 干燥水解法 多晶硅生產 氯硅烷

為促進多晶硅行業結構調整、淘汰落后和節能降耗，根據國家有關法律法規和產業政策，工業和信息化部、國家發展和改革委員會、環境保護部共同制定了《多晶硅行業準入條件》(工聯電子〔2010〕137號)，并于2010年12月31日予以公告。要求新建多晶硅項目規模必須大于3kt/a，占地面積小于0.06km2/kt，太陽能級多晶硅還原電耗小于60kW·h/kg，還原尾氣中四氯化硅、氯化氫、氫氣的回收利用率不低于98.5%、99.0%、99.0%；引導、支持多晶硅企業以多種方式實現多晶硅-電廠-化工的聯營，支持節能環保太陽能級多晶硅技術的開發，以降低生產成本。

近年來，隨著多晶硅價格的不斷下滑，多晶硅企業為了降低生產成本，引進了一種新型多晶硅冷氫化合成三氯氫硅的生產工藝，該工藝不僅能耗低，且單套裝置年生產規模可達120kt TCS(SiHCl3)，產生了一定的規模效應。然而，三氯氫硅合成工序會產生渣漿(通常含固量為20%)，其液相為高沸物氯硅烷(SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2和聚氯硅烷)，固相大部分為Si和氯硅烷，還有少量C、AlCl3和P、B單質及其氯化物。因此，必須對渣漿進行處理，從中回收氯硅烷，廢料則進行水解，以提高氯硅烷的回收率，減少漿料的水解量，從而降低廢氣排放量。……