微加工技術在高精度位移傳感器中的應用

李廣金

摘 要：隨著科學技術的日新月異，各種類型的傳感器層出不窮，其中，高精度位移傳感器是較為新穎的傳感器，與普通傳感器對比而言具有得天獨厚的優勢。高精度傳感器的結構豐富，電極呈柵狀存在，一旦電極存在平行移動以及覆蓋面積變化，電容量則會隨之變化，進而實現測量幾何量的作用，現結合該原理對微加工技術的應用予以研究。

關鍵詞：微加工技術；高精度；位移傳感器

1 容柵式位移傳感器的工作原理

容柵式位移傳感器，根據結構不同可以具體分為圓形容柵位移傳感器、直線型容柵位移傳感器以及圓筒型容柵位移傳感器。此次試驗所采取的是直線型容柵位移傳感器。直線型容柵位移傳感器主要由兩部分所組成，分別是靜柵極板和動柵極板。每當在發射極相同位置安放相同的輸入信號時，反射級同接收極、發射極同反射極會形成電場。反射極能夠進行耦合作用，接收極輸出信號會逐漸發生變化。此外，受到靜柵極板大小的影響，如果進行較大位移測量，靜柵極板不能全部覆蓋于電子屏蔽下，進而受到外界因素影響，導致測量出現誤差。

2 微加工制作高精度位移傳感器流程

2.1 高精度位移傳感器制作與微加工

高精度位移傳感器在基底使用方面，需要采取玻璃襯底，也可以采用其他襯底。每個基底具有8N個導通盤，利用導線能夠同另外基底的8N個發射極進行相連，保證發射極柵連通有效，需要注意的是，發射極柵導線寬度需要比連接導線寬度粗一些。……