用于控制氣體供應(yīng)的方法和控制器

申請公布號：CN105580103A

申請?zhí)枺?013800797510

申請人：應(yīng)用材料公司

地址：美國加利福尼亞州

發(fā)明人：F·施納朋伯格；A·赫爾米希；T·科奇；T·德皮施

Int. Cl.：H01J37/32（2006.01）I；C23C16/455（2006.01）I

PCT進(jìn)入國家階段日：2016.03.23

PCT申請數(shù)據(jù)：PCT/EP2013/069857 2013.09.24

PCT公布數(shù)據(jù)：WO2015/043622 EN 2015.04.02

摘 要：提供一種用于控制對工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)的方法（200）。此方法（200）包括以下步驟：由在工藝腔室（301）中提供的兩個或更多個傳感器（35、36、313、314）中的每一個測量（210）氣體參數(shù)；從所測量的氣體參數(shù)確定（220）組合的氣體參數(shù)；以及基于所確定的組合的氣體參數(shù)來控制（230）對工藝腔室（301）的氣體供應(yīng)。