中北大學參與共建國家第三代半導體技術創新分中心山西分中心

尹哲

科學導報訊 國家第三代半導體技術創新中心山西分中心建設正在有序推進。筆者5月24日從中北大學獲悉，該校依靠專業優勢，將積極參與山西分中心建設工作。

中北大學在第三代半導體技術研究方面有長期積累，在器件設計、高深寬比刻蝕、高可靠歐姆接觸、高溫鍵合封裝等方面有充足研究經驗和技術積累，形成了有特色的工藝能力，所依托的中北大學微納加工中心是國內高校范圍內技術先進的半導體工藝研發平臺。

此外，中北大學在半導體人才培養方面，具有深厚的團隊基礎、充足的研發經費、先進的平臺條件和有效的培養模式。該校微電子科學與工程專業于2019年通過國家工程教育專業認證，2020年成為國家一流專業建設點。