過程質譜儀測量氣體濃度快速變化過程的應用研究

郭洋洲 趙義軍 劉鵬 馮冬冬 孟順 錢娟 孫紹增

摘 要 通過實驗研究了微型流化床多階段原位反應分析儀（MFBMIRA）檢測快速氣固反應氣體逸出過程的適應性。研究表明，取樣毛細管的伴熱性能對在線測量的穩定性有重要影響?；谒靡幝?，將精密溫控器配置于毛細管的伴熱系統，毛細管溫度的控制精度達到±0.2℃，從而實現了取樣流量和腔室真空度的穩定化。實測結果表明，改造后在線測量的周期性波動消失，穩定性顯著提高?？諝庵蠴2測量響應的波動度和30 s相對標準偏差由1.9%和0.5%，優化至1.4%和0.2%。同時還開發了精確控制取樣點絕對壓力的調節裝置，使取樣點絕對壓力的控制精度達到±0.02 kPa。實驗結果表明，取樣點絕對壓力與過程質譜儀的響應呈正相關，準確控制取樣點絕對壓力非常必要。本研究提高了過程質譜儀測量結果的準確性和重復性，提升了MFBMIRA分析快速氣固反應的適應性，進而拓寬了MFBMIRA及過程質譜儀可靠應用的范圍。

關鍵詞 微型流化床； 過程質譜儀； 取樣流量； 真空度； 穩定性