日本企業推出直徑僅1cm的六軸力覺傳感器

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日本企業推出直徑僅1cm的六軸力覺傳感器

日本信號株式會社推出了基于微機電系統（MEMS）技術的超小型六軸力覺傳感器。其采用該公司研發的電磁驅動式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術經驗，主要用于機器人和計量測量儀器領域。

該六軸力覺傳感器利用半導體的壓電電阻效應來檢測應力。其直徑為10.6mm、厚14.5mm。其沿X、Y、Z軸方向的額定載荷各為±30N，沿各軸旋轉方向的額定載荷為±30Ncm，重復精度優于3%，其軸向檢測靈敏度為0.1mV/ N～0.2mV/N，X、Y軸旋轉方向的檢測靈敏度為0.2mV/Ncm～0.6mV/ Ncm，Z軸旋轉方向的檢測靈敏度為0.2mV/Ncm～0.3mV/Ncm。

另外，日本信號株式會社還將廣泛探索該傳感器在機器人及測量儀器以外領域的應用，如實現醫生觸診的自動化等。

(日 經)