一種高靈敏度石墨烯磁場傳感器及其制備方法

申請號： 201510908225.1

【公開號】CN105405965A

【公開日】2016.03.16

【分類號】H01L43/06; H01L43/14; G01R33/00

【申請日】2015.12.09

【申請人】中國科學院上海微系統與信息技術研究所

【發明人】王浩敏;謝紅;王慧山;李蕾;謝曉明;江綿恒

【摘 要】本發明提供一種高靈敏度石墨烯磁場傳感器及其制備方法。以干法轉移的方法形成h-BN—石墨烯—h-BN的霍爾器件作為磁場傳感器的核心結構，可以避免濕法轉移工藝及圖形化刻蝕、金屬沉積工藝等對材料晶格造成的污染與破壞；以h-BN作為襯底及封裝層，有利于維持石墨烯載流子遷移率，并保護器件避免吸附空氣中的O2、H2O及微粒，以提高器件電學性能；此外石墨烯與金屬電極之間采用一維線接觸的方式連接，將大大降低器件的接觸電阻及功耗。