一種集成壓電式萬(wàn)向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法

申請(qǐng)?zhí)? 201510868073.7

【公開(kāi)號(hào)】CN105352634A

【公開(kāi)日】2016.02.24

【分類(lèi)號(hào)】G01L1/16; G01L5/00

【申請(qǐng)日】2015.12.02

【申請(qǐng)人】中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所

【發(fā)明人】趙寶林;劉顯學(xué);劉天國(guó);陶逢剛

【摘 要】本發(fā)明公開(kāi)了一種集成壓電式萬(wàn)向沖擊傳感器及其壓電敏感元件的制造方法。本發(fā)明包括質(zhì)量塊和壓電敏感元件，壓電敏感元件上設(shè)置有Z軸軸向、Y軸軸向和X軸軸向壓力敏感輸出電極對(duì)和質(zhì)量塊焊接電極；質(zhì)量塊通過(guò)質(zhì)量塊焊接電極焊接在壓電敏感元件頂部；本發(fā)明采用新型的集成結(jié)構(gòu)模型，將Z軸壓縮式感應(yīng)輸出與X、Y軸剪切感應(yīng)輸出集成一體，通過(guò)后續(xù)的分區(qū)極化，實(shí)現(xiàn)了X、Y及Z軸的敏感輸出，技術(shù)得到了較大的革新改進(jìn)。