5 000 W級大功率半導體激光器綜合測試系列儀器研制成功并投入使用

5 000 W級大功率半導體激光器綜合測試系列儀器研制成功并投入使用

為了滿足激光產業評價大功率半導體激光器的參數指標的需求，工信部電子五所歷時4年，在國家重大科學儀器設備開發專項基金的支持下，聯合中科院半導體所、中科院長春光機所等單位，解決了大功率半導體激光器的測試、檢測、可靠性與壽命綜合評價等關鍵難題，研發了具有自主知識產權的大功率半導體激光器綜合測試系列儀器并已將其投入使用。

大功率半導體激光器在軍用及民用領域得到了廣泛的應用，但與此同時，也暴露出了光束質量差、早期失效多、壽命短且無評價標準等可靠性問題。為了促進大功率半導體激光器的工程應用，工信部電子五所 “大功率半導體激光器壽命試驗系列儀器”項目團隊研制了萬瓦級激光器驅動電源，其技術指標達到了國際先進水平，連續驅動電流為0～200 A、準連續驅動電流0～400 A，電壓200 V內自適應。研制的大功率半導體激光器參數測試儀器，集成了電導數測試功能，實現了基于電導數的大功率半導體激光器可靠性的無損評價，這一功能在國內外同類產品中屬于首創。

在大功率半導體激光器壽命試驗儀器研制方面，“大功率半導體激光器壽命試驗系列儀器”項目團隊突破了參數檢測、電路保護等關鍵技術難關，研制了60工位單管激光器壽命試驗儀器、40工位單bar激光器壽命試驗儀器和12工位陣列壽命試驗儀器等系列儀器，技術指標優于國際ILXLightwave、NANOFOOT等公司的同類產品。

上述5 000 W級大功率半導體激光器綜合測試系列儀器在國家激光點火工程、激光核聚變和激光同位素分離等國家重點工程中得到了具體的應用，有力地支撐了我國千瓦級大功率半導體激光器的測試、檢測、可靠性與壽命評價研究工作的開展，并于近期通過了工業和信息化部組織的 “國家重大科學儀器設備開發專項”的初步驗收，得到了包括劉頌豪院士、曹鏞院士在內的專家組的高度肯定。

（工信部電子五所重點實驗室 路國光供稿）