接觸式干涉儀大量程數字化技術改造

王 奎 霍 磊徐守品

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接觸式干涉儀大量程數字化技術改造

王 奎1霍 磊2徐守品3

（1. 開陽質量計量檢驗檢測中心有限公司 貴州開陽550300；2. 濮陽市質量技術監督檢驗測試中心 河南濮陽457000；3. 九江職業技術學院機械工程學院 江西九江 332007）

接觸式干涉儀是利用微差比較測量法測量長度的高精度計量儀器，長時間測量眼睛極易疲勞、勞動強度大、易引入瞄準讀數誤差等缺點。在保留高精度光波干涉計量特點和基本保持原儀器光機結構的前提下，應用高像素CMOS圖像器件及計算機圖像處理技術改造傳統的接觸式干涉儀，可以在擴大原儀器量程的情況下實現量塊檢定的數字化智能化。

500萬像素 CMOS攝像器件 接觸式干涉儀 Matlab語言

目前部分省級計量部門及企業用于量塊標準傳遞所使用的接觸式干涉儀，均是六、七十年代產品，其瞄準、測量讀數靠單人通過顯微目鏡觀察瞄準，視野狹窄，長時間測量，勞動強度大，眼睛極易疲勞，易引入瞄準讀數誤差，且量塊檢定工作中，測量數據多，需人工計算每塊量塊所得數據，計算量大。

現代可視技術常用的光電圖像器件如CCD器件，其空間分辨率高、體積小、重量輕、實時傳輸性等方面具有很高優越性。

CMOS圖像器件近年也得到了迅速發展，其光電特性逐步接近CCD圖像傳感器件，易于實現圖像數字化輸出，但價格及體積卻較CCD器件有優勢。先后有單位利用CCD/CMOS攝像器件改造接觸式干涉儀，把原先用人眼觀察顯微鏡下的干涉條紋實時顯示在CRT屏幕上，同時干涉條紋圖象被自動采集處理，量塊檢定數據存儲處理自動化，提高工作效率，降低了勞動強度?！?br>