電真空器件的氣密性檢測

李旭然

（國家新聞出版廣電總局五二三臺,130052）

0 前言

近年來，工業(yè)化進程不斷深化背景下，電真空器件作為一種重要設備成為工業(yè)發(fā)展不可缺少的一部分，然而，電真空器件長期使用中漏氣現(xiàn)象是難以避免的，為了確保設備在生產(chǎn)過程中發(fā)揮最大成效，需要對設備進行氣密性檢測，了解和掌握設備氣密程度。因此，加強電真空器件氣密性檢測的研究具有重要意義。

1 電真空器件氣密性檢驗注意事項

1.1 溫度方面

環(huán)境溫度作為影響電真空器件氣密性檢測的重要因素，溫度變化對漏孔漏率具有直接影響，溫度發(fā)生變化，勢必會影響漏孔幾何尺寸及氣體特性，進而影響漏率，通常情況下，在檢驗過程中，要確保工件溫度與室溫相一致，保證檢驗工作準確性。

1.2 清潔度方面

在檢驗過程中，由于被檢驗器件與輔助模具、檢漏儀等相連接，且一般采用酒精、真空封泥、橡膠圈等進行密封處理，如果不進行清潔處理，極有可能成為放氣源，進而影響器件性能，至此，在檢漏完畢后，需要進行徹底清潔，才能夠?qū)⑵鋺玫缴a(chǎn)過程中。

1.3 材料吸附方面

不同于一般器件，電真空器件真空管道、閥門等器件自身據(jù)喲吸氣性特點，使用時間越長，那么相應的吸附的雜質(zhì)也越多，檢漏時被吸入質(zhì)譜時會產(chǎn)生表面沉積物等污染，使得氨本底過高，設備難以在使用中發(fā)揮積極作用，至此，在檢驗結(jié)束后，要進行除氨處理。在氣密性檢驗中，只有堅持相應原則，才能夠器件發(fā)揮積極作用。

2 電真空器件氣密度檢驗具體流程

2.1 環(huán)境方面

為了確保氣密性檢驗準確性，要加強對環(huán)境各方面因素進行調(diào)整和優(yōu)化，一般涉及溫度、濕度、通風等方面，溫度與室溫一致，濕度小于70RH，且要保持通風良好，氣流平穩(wěn)，并消除強電磁干擾和振動。不僅如此，要結(jié)合被檢器件結(jié)構(gòu)特點及承載要求，科學、合理設計檢漏臺，為檢驗工作順利開展奠定堅實的基礎。

2.2 儀器校準和靈敏度方面

電真空器件氣密度檢驗的開展離不開儀器的支持，因此，要對檢驗儀器進行校準和靈敏度測試，如果在校準過程中，出現(xiàn)校準失敗現(xiàn)象，要及時進行調(diào)整和優(yōu)化，另外，針對靈敏度測試，一旦發(fā)現(xiàn)使用過程中出現(xiàn)反應慢情況，需要進行改進。

2.3 被檢件與檢漏模具方面

由于電真空器件在長期使用中，表面勢必會受到污染，基于此，在檢驗之前，要對被檢驗器件進行相應處理，將避免油污等清理干凈，通過上述處理，不僅能夠避免漏孔被污物堵住，還能夠更為準確的找到漏氣孔，此外，還需要保證檢漏模具干凈、干燥，且沒有變形。

2.4 檢漏方法分析

針對電真空器件自身特殊性，針對其進行氣密性檢驗主要采取兩種方法：一種是氨罩法，另一種是噴吹法，在具體檢驗過程中，首先對氨罩法進行總漏率測試，如果超出標準范圍后，再使用后者。

(1)氨罩法

氨罩法主要是指將被檢驗器件與檢驗儀器連接到一起，并用一個充滿氨氣檢驗罩，將器件包圍起來，并進行二次處理，確保罩內(nèi)氨氣量達到標準值，一旦發(fā)現(xiàn)被檢驗器件某個位置出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象，就會出現(xiàn)漏率值，雖然，該方法能夠檢驗漏氣情況，但是，難以確定漏氣位置，如圖1。

圖1 氨罩法

(3)噴吹時間及速度

噴吹時間作為影響檢驗效果，至此，要結(jié)合被檢驗器件結(jié)構(gòu)特征、容積大小等因素合理確定噴吹時間，通常情況下，針對漏電的噴吹時間要比檢漏儀反應時間高3至5倍，確保氨濃度達到標準值；而對于簡單漏孔來說，一般控制在3倍即可。另外，噴吹移動速度也不宜過快，針對口徑為0.5mm的噴槍，移動速度要控制在2至3mm/s。

(4)噴氨法最小可檢漏率分析

雖然，噴吹法作為一種方便、簡單的檢驗方法，但是，在具體檢驗中仍然存在很多限制因素，為了確保檢驗發(fā)揮積極作用，對噴氨法要進行最小可檢漏分析。通過采取相關(guān)公式進行計算發(fā)現(xiàn)，噴氨法檢漏最小可檢漏率的影響因素主要包括氨氣濃度、時間，由此，要想提高可檢漏率，可以通過兩種方式和方法入手，一方面，提高漏孔處氨濃度；另一方面，適當增加噴氨時間，但是，要明確意識到增加時間直接影響檢漏效率，在具體檢驗過程中，要充分結(jié)合實際情況，進行相應調(diào)整和優(yōu)化。

一般情況下，普通噴槍噴嘴敞開式居多，漏孔形狀、噴嘴形狀及尺寸等因素對檢驗方法靈敏度影響較大，如果當檢驗儀器本底值偏高時，可以利用儀器將本底值置零后繼續(xù)進行檢驗，并加強對檢漏值的關(guān)注力度，進而快速找到漏氣位置，另外，在具體操作過程中，由于受到流導及抽速的影響，使得工作靈敏度要比儀器靈敏度要低。

(5)復雜結(jié)構(gòu)檢驗

由于電真空器件種類較多，其中不乏一些結(jié)構(gòu)比較復雜的器件，多回路交叉相連，在很大程度上增加了檢驗難度。針對這類器件氣密度檢驗，可以通過實施分層次檢驗，首先對回路1抽真空，對回路2噴氨氣，以此來找到兩路相同區(qū)域；而后，進行交替操作，并對回路1開口端注入酒精，避免氣流將酒精擴散到其他位

(2)噴吹法

噴吹法主要是將被檢驗器件與儀器的真空系統(tǒng)有機結(jié)合，針對可疑漏孔位置進行吹噴，當發(fā)現(xiàn)漏孔時，便通過質(zhì)譜儀檢測出漏氣情況。該方法在很大程度上彌補了氨罩法的缺陷，二者有機結(jié)合，不僅能夠提高檢驗準確性，還能夠提高檢驗效率，如圖2。污水當中的氧氣含量較大時，將厭氧細菌消滅之后，污水當中會有部分的氧剩余，以此種污水所配制成的聚合物溶液，聚合物的分子量會由于氧的作用從而導致出現(xiàn)斷裂，從而影響聚合物溶液的黏度。經(jīng)過優(yōu)選實驗之后認為，合理的曝氧量約為5mg/L。

圖2

3 結(jié)論

（1）曝氧環(huán)境下聚合物溶液的黏度要略高于厭氧環(huán)境下聚合物溶液的黏度；

（2）聚合物溶液的黏度隨著時間的延長，先是快速下降，之后黏度的下降逐漸趨于穩(wěn)定；

（3）污水的合理曝氧量約為5mg/L，此時污水配制的聚合物溶液黏度最大。

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