MEMS加速度計嵌入式批量自動化測試系統設計

吳志強 印 娟 朱欣華

(南京理工大學機械工程學院，江蘇 南京 210094)

MEMS加速度計嵌入式批量自動化測試系統設計

吳志強 印 娟 朱欣華

(南京理工大學機械工程學院，江蘇 南京 210094)

針對MEMS傳感器人工測試、篩選存在的工作效率低、易出錯等缺點，設計了一種MEMS電容式加速度計嵌入式自動化測試系統。系統主要由嵌入式多通道數據采集模塊及上位機組成，兩者通過USB接口進行通信。為提高測試效率，嵌入式數據采集模塊采用微控制器控制4片菊花鏈方式級聯的ADS1278，實現32通道模擬輸出的同步采樣。經測試，各通道有效分辨率均優于21 bits，滿足系統設計指標要求。應用虛擬儀器技術設計了應用軟件。實測結果表明該系統可大大提高MEMS傳感器測試、篩選的效率。

自動化測試設備 批量測試 MEMS電容式加速計 菊花鏈 ADS1278

0 引言

MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造的新型傳感器，具有體積小、質量輕、成本低、功耗小、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點，在汽車安全氣囊系統、導航系統、防滑系統以及防盜系統等方面得到了廣泛應用[1]。應用過程中，為提高效率，需對生產或采購的MEMS加速度計進行批量性能測試，以判別產品的主要性能是否合格或滿足應用需求。目前，MEMS傳感器測試、篩選工作大多依靠人工完成，工作效率低下，且容易出錯[2]。當然也有部分采用自動測試[3-5]，但自動測試往往僅針對單一的傳感器，無法實現批量自動測試[3-4]，而且所用的測試設備龐大、昂貴[5]，因此開發緊湊的批量自動化測試系統是MEMS加速度計應用過程中的迫切需求。

本文采用測試工裝夾具技術、模/數轉換技術、嵌入式計算機技術、虛擬儀器技術，研制了一套MEMS電容式加速度計嵌入式批量自動化測試系統。系統具有成本低、體積小、人機界面友好等優點，可實現MEMS電容式加速度計批量自動化測試。

1 批量自動化測試系統總體設計

1.1 MESM電容式加速度計性能測試需求

在采用MEMS電容式加速度計構成應用系統前，需對其性能進行全面評估，篩選出符合系統要求的加速度傳感器。本文設計的自動化測試系統實現了MEMS電容式加速度計零位穩定性、零位重復性及溫度特性等靜態性能的測試。系統以Colibrys 公司的MS9030作為篩選對象，其主要參數規格如表1所示。

表1 MS9030主要性能參數表

根據表1所示的噪聲譜密度可知，1 Hz帶寬條件下，傳感器的動態范圍可達18 bit，為了不損失傳感器的測量精度，測試系統有效分辨率需優于20 bit@1Hz。為滿足批量化測試需求，自動化測試系統的功能及性能參數如表2所示。

表2 系統功能及技術指標

參照國軍標GJB 1037A《單軸擺式伺服線加速度計實驗方法》，本文采用的穩定性、重復性及溫度特性測試方法如下。

(1) 穩定性實驗：主要測試加速度傳感器的短期穩定性。實驗過程中將待測傳感器靜態置于轉臺內或安靜環境中的固定臺面上，敏感軸豎直向上，連接線纜后，上電10 min，然后采集30 min，結束后存儲數據，斷電。

(2) 重復性實驗：按照(1)的要求，重復完成7次，每次開斷電的間隔不少于30 min。

(3)溫度實驗：將待測加速度計置于溫控箱內，敏感軸豎直向上固定，連接線纜，將溫控箱設置到-20 ℃穩定1 h后，給加速度計上電，同時開始采集加速度的輸出，30 min后設置溫控箱按照1 ℃/min升至+60 ℃;保溫30 min后，按照1 ℃/min降至-20 ℃;保溫30 min后，停止采集存儲數據，斷電，轉臺回到室溫，重復3組。

1.2 批量自動化測試總體方案

本文采用的測試系統原理如圖1所示，主要由測試夾具、嵌入式多通道數據采集模塊及上位機組成。

圖1 批量自動化測試系統原理框圖

圖1中，為保證系統可重復使用，采用測試工裝夾具實現傳感器的電氣連接和機械固定，每個傳感器配備一個測試夾具，由測試夾具將加速度傳感器的各個引腳引出，實現傳感器供電，并將傳感器輸出引到多通道數據采集模塊。多通道數據采集模塊由微控制器控制，完成MEMS加速度計模擬輸出的數字化，模/數轉換后的數據通過USB接口送至上位機。上位機通過USB發送控制命令給微控制器，微控制器通過GPIO配置實現數據采集過程中相關參數的控制。系統實現的控制過程包括采樣速率設定、采樣通道選擇、傳感器電路上電、斷電操作等。上位機軟件還可以實現采集數據的自動分組保存及數據的統計分析等。

2 批量測試系統的實現

2.1 測試夾具

在測試過程中，為方便安裝與卸載傳感器并能有效地固定傳感器以實現相關的靜態測試，為每個待測MEMS加速度傳感器配置一個專用的老化測試夾具。本文待測試的加速度傳感器MS9030為LCC20(8.9 mm×8.9 mm)陶瓷封裝，老化測試夾具將LCC20封裝轉換為直插封裝，避免了每次測試焊接傳感器帶來的麻煩。

2.2 多通道數據采集模塊

一個嵌入式數據采集系統至少包括信號調理電路、模/數轉換器和微控制器(或微處理器)等幾個部分。其中，信號調理電路將待測信號放大、濾波后送至模數轉換器的輸入端。模/數轉換器實現模擬信號與數字信號的轉換。微控制器(微處理器)對整個數據采集流程及相關的程控器件進行控制，對采集到的數據進行預處理，并在需要時通過通信接口將采集到的數據傳送到上位機。

圖1中的嵌入式多通道數據采集模塊采用MSP430F5529作為控制器，模/數轉換器采用ADS1278，微控制器通過USB與上位機進行數據通信。

每片ADS1278包含8路同步差分輸入通道，要實現32個通道的數據采集，需將4片ADS1278通過菊花鏈方式級聯，連接電路原理圖如圖2所示。

圖2 ADS1278菊花鏈連接示意圖

2.3 上位機應用軟件設計

上位機應用軟件的功能主要包括采集過程的監控，采集數據的接收、存儲、處理以及根據測試項目發送相應的控制命令給微控制器。設計時，采用LabVIEW編寫了上位機應用軟件。

微控制器MSP430F5529內嵌USB接口引擎，可以采用TI公司提供的USB API庫進行開發。本系統將USB設備類型定義為通信設備類(CDC)，當USB連接主機時，會在主機上建立一個“虛擬COM端口”，上位機應用軟件把USB接口當做“虛擬COM端口”來處理即可，簡化了開發流程。根據上位機應用軟件的功能需求，確定了如圖3所示的軟件流程圖。

圖3 上位機應用軟件流程圖

3 系統測試與評價

3.1 有效分辨率測試

為驗證設計的系統能否達到表1所示的技術指標，對系統進行了性能評估測試，主要是采集模塊的有效分辨率測試。有效分辨率可由信噪比通過式(1)求出[6]：

n=(SNR-1.76)/6.02

(1)

SNR為系統的信噪比，可表示為：

SNR=20lg(UN/UR)

(2)

式中：UN為有用信號電壓的有效值；UR為噪聲信號電壓的有效值。

表3 各通道的SNR和有效分辨率

3.2 MEMS加速度計零位穩定性測試

比較測量結果可知，系統設計發揮了Σ-Δ型ADC的技術優勢，在同等測試條件下，系統測量精度優于六位半數字多用表。

4 結束語

本文介紹了一種MEMS加速度計嵌入式批量自動化測試系統的設計方法，實驗結果表明該系統可滿足MEMS加速度計批量自動化測試要求。通過設置加速度篩選條件，可對一批待測試MEMS加速度計進行性能評估、排序，從中篩選出符合系統要求的傳感器，測試效率高。同時，該批量測試系統操作方便，人機界面友好，稍作調整即可用于其他種類傳感器的批量測試，具有廣泛的應用價值。

[1] 王淑華.MEMS傳感器現狀及應用[J].微納電子技術,2011,48(8):516-522.

[2] 徐夏，馬游春，瞿成瑞，等.三維MEMS加速度計的性能測試方法與分析[J].微計算機信息,2007,23(2):208-210.

[3] Zhao Y,Liu Y,Cheng H,et al.Design of testing system for accelerometer based on GP-IB[J].Electronic Science and Technology,2011(11):28.

[4] Edoardo G,Luca F,Alessandro R.New low-cost concept for characterization of MEMS accelerometers at medium-g levels for automotive[C]//Advances in Sensors and Interfaces(IWASI),2013 5th IEEE International Workshop on,IEEE,2013:168-173.

[5] Woody B.ADI公司使用PXI與LabVIEW降低MEMS測試成本[EB/OL].[2012-08-19]http://www.ni.com/.

[6] (德)施呂費爾.電測技術[M].8版.殳偉群,譯,北京：電子工業出版社，2005.

[7] 王亭嶺,周芬芳,熊軍華,等.微壓力彈簧性能自動測試裝置的設計與實現[J].自動化儀表,2012,34(8):70-73.

[8] 王懷秀，朱國維.24位高性能模數轉換器ADSl274/ADSl278及其應用[J].國外電子元器件,2008(5):53-56.

[9] 尼佳偉,王文理，謝振山.基于ADS1278的高精度采樣平臺的搭建[J].計算機光盤軟件與應用,2013(3):54-58.

[10]賈丹,徐建華,段海濤,等.LabVIEW在摩擦學實驗自動控制與數據采集中的應用[J].自動化儀表,2014,35(9):69-72.

Design of the Embedded Automated Batch Testing System for MEMS Accelerometer

Considering the disadvantages of low efficiency and error prone in manual testing and selecting of MEMS sensors, the embedded automatic testing system for MEMS capacitance accelerometer is designed. The system mainly consists of embedded multi-channel data acquisition module and host computer, and both communicate with each other via USB interface. In order to enhance testing efficiency, the embedded data acquisition module adopts micro-controller to control 4 daisy chain cascade ADS1278, to implement synchronous sampling of 32-channel analog outputs. The tests show that the effective resolution of each channel is better than 21 bits, and meets the design indexes. The application software is designed by using virtual instrument technology. The results of practical test indicate that the system greatly enhances the efficiency of testing and selecting MEMS sensors.

Automatic testing equipment Batch test MEMS capacitance accelerometer Daisy chain ADS1278

吳志強(1982-)，男，2012年畢業于西北工業大學電磁場與微波技術專業，獲博士學位，講師；主要從事慣性傳感器測試及慣性系統方面的研究。

TP216

A

10.16086/j.cnki.issn1000-0380.201509019

修改稿收到日期：2015-01-06。