氣壯華夏 追逐夢想
—— 中船重工第七一八研究所特種氣體產業發展紀實

■ 白 松 洪曉明 劉利君 孟祥軍

氣壯華夏 追逐夢想
—— 中船重工第七一八研究所特種氣體產業發展紀實

■ 白 松 洪曉明 劉利君 孟祥軍

中國船舶重工集團公司第七一八研究所已建成全國最大的半導體、液晶用特種氣體研發生產基地。本世紀初，在我國加快推進軍民融合的引領下，“特氣人”瞄準民族工業發展需求，力破國外壟斷優勢；在軍工技術中不斷激發創新活力，在市場競爭中不斷開拓進取，在降本增效上不斷深化提升；以國家戰略發展為己任，承擔國家02專項，肩負起完善半導體產業鏈、奠定發展基礎的重任。走出一條從無到有，從小到大，由弱到強的發展之路，為國家科技強國戰略，加快重點行業關鍵產品進口替代做出了積極貢獻。

高純三氟化氮特種氣體，作為清洗劑和蝕刻劑被廣泛用于半導體、液晶面板及薄膜太陽能制造等產業，是現代化電子行業中極為重要的生產原料。2014年，三氟化氮全球市場發展與調整并存，出現因生產線老化停產、以及半導體技術升級需求增加導致的供求失衡，眾多半導體、液晶生產商面臨著“沒米下鍋”甚至瀕臨停產的不利境地，紛紛向中國唯一高純三氟化氮生產廠家，中國船舶重工集團公司第七一八研究所（簡稱七一八所）要求增加氣體供貨量，甚至表示加價提貨。面對如此誘惑，七一八所做出確保國內中資企業用氣所需，適量均衡外方需求，嚴格按協議價格供貨的營銷策略，力保我國企業在此次貨源危機中平穩渡過。在經濟利益和社會責任前，再次展現了軍工人一貫的責任與擔當。

回看七一八所特種氣體產業發展歷程，在我國加快推進軍民融合的引領下，“特氣人”瞄準民族工業發展需求，在自有軍工技術中不斷激發創新活力，逐步建立適應市場需求的特種氣體產業規模，在質量成本上不斷深化管理提升，走出一條從無到有，從小到大，由弱到強的發展之路，為國家科技強國戰略，加快重點行業關鍵產品進口替代做出了積極貢獻。

自主研發 力破壟斷

隨著半導體和液晶面板等電子產品的使用日漸普及，三氟化氮等特種氣體消耗量增長迅猛。本世紀初，以美、日、韓為代表的主要生產國，利用產業鏈的主導優勢，以戰略物資為由對中國進口三氟化氮進行嚴格管控，國家電子工業發展十分艱難。

七一八所對三氟化氮氣體的研制，最早可追溯到上世紀八十年代初期，每年為自有軍工項目生產少量純度要求不高的三氟化氮氣體。本世紀初，為破解壟斷危機搶抓市場機遇，七一八所果斷組建特種氣體工程部，立項開展高純三氟化氮特種氣體及其生產工藝的研發。2001年8月，成立了三氟化氮產業發展籌備領導小組；12月，為攻克氣體制備中的技術瓶頸，又成立三氟化氮項目擴產領導小組和現場工作組；2002年9月，成功研制出99.99%的三氟化氮氣體；12月，七一八所自主研發的高純三氟化氮特種氣體，通過新產品鑒定，產品性能達到國際同類產品的先進水平。

特種電子氣體對半導體生產工藝、設備運行乃至產品質量會產生重要的影響和制約作用，隨著電子技術向高性能、多功能、大容量、微型化方向發展，對電子氣體提出了更高的技術要求?！疤貧馊恕眻孕磐鈬茏龅降?，中國也能做。通過技術創新和工藝完善，2006年將三氟化氮氣體純度進一步提高到99.995%和99.999%的新高度，一舉站在了世界同類產品的頂峰。國產高純三氟化氮特種氣體成功問世，徹底打破了日、美、韓等國的技術壟斷和價格控制，結束了我國長期依賴進口受制于人的歷史，國內三氟化氮氣體采購價格降幅陸續達70%以上，比起單純依賴進口，僅電子行業便可每年為國家節省外匯幾十億元。由原材料價格下降帶來的終端消費品價格降幅同樣顯著，以液晶電視為例，原先一臺40寸液晶電視的價格動輒上萬，現在也僅需花費五千元左右。

高純三氟化氮特種氣體取得快速發展的同時，七一八所積極跟蹤國際氟化工前沿技術，從未停止過探索新技術研發新產品的步伐。從2003年始，先后立項開展高純六氟化鎢、高純氘氣、三氟甲磺酸、高純銨等20多種高純特種氣體的研發工作。2008年，開始將一部分特種氣體小批量投放市場，顯示出良好的市場前景。

七一八所特種氣體項目先后列入國家重點新產品、國家火炬計劃、國家高新技術產品和國家02重大專項。目前，已組建成立“河北省特種氣體工程技術研究中心”，獲得國家發明專利授權9項，特種氣體產能達到1500噸/年，成為全國最大的半導體、液晶用特種氣體研發生產基地，一舉躋身國際前列。

韜光養晦 破繭成蝶

橫空出世的國產高純三氟化氮等特種氣體，雖然在產品質量上毫不遜色國外同類產品，但與當時國際巨頭同臺競技、同市競價的步履卻姍姍來遲。七一八所研發的高純特種氣體，起初因名不見經傳，市場拓展十分困難：國際上，日、美、韓三國壟斷著全球電子行業的供給鏈，生產廠家不敢輕易更換重要的生產原料；國內因從未有過生產廠家，產品一時間得不到認可。面對市場準入的重重避壘，為在最短時間內打進市場，七一八所將營銷策略定位貼牌生產。2003年12月，經日本某知名氣體供貨商的嚴格檢驗，七一八所自主研發生產的高純三氟化氮特種氣體在產品質量、氣體純度和穩定性等方面全部符合要求，達到國際先進水平。隨后，該企業與七一八所達成貼牌生產、包銷所有產品的協議，產品幾乎全部銷售到國外公司，部分產品再被貼牌返銷到中國市場。

寶劍鋒從磨礪出，梅花香自苦寒來。起初國產三氟化氮由于知名度不高，在國內外市場上沒有絲毫“話語權”。然而“特氣人”始終堅持不懈地開拓市場，通過積極參加國內外會展和行業會議、主動與國內外經銷商和直接用戶聯系、不間斷走訪用氣廠家等多渠道進行市場拓展。因產品知名度低，連銷售人員也回憶不清讓人家多少次拒之門外，甩過多少冷臉，坐過多少冷板凳。2006年，終于獲得兩家世界知名氣體公司的訂單，擺脫了單一客戶的尷尬局面。2007年，又與4家比較知名的國際采購商建立合作關系?！疤貧馊恕笔冀K在等待一個能以自身面目展現世人的機會。

2008年，國際金融危機蔓延全球，三氟化氮消費市場由于價格下行造成停產減產引發的供應缺口逐步顯現。大浪淘沙，真金始現?！疤貧馊恕蔽Ｖ幸姍C，將眼光鎖定在尋求國內商機，通過合理讓利促使眾多的廠商試用自己的產品，積極開展準入認證。功夫不負有心人，七一八所實現了以自己的品牌：派瑞（PERIC），冠名自己生產的特種氣體，以為國內知名集成電路生產商直接供貨作為開端，由點帶面順利鋪開。截至目前，派瑞特種氣體已實現國內半導體和液晶面板廠商的用戶全覆蓋，三氟化氮市場占有率接近50%。

從立項研發到貼牌生產，再以派瑞（PERIC）特種氣體品牌亮劍市場，榮譽光環的背后飽含著干部職工們夜以繼日的汗水和辛酸。“派瑞（PERIC）特種氣體”的加入，使得國外廠商在國內銷售的優勢消失殆盡，國際三氟化氮供給格局重新洗牌，七一八所三氟化氮生產線一直保持滿產狀態，倉庫基本處于零庫存狀態。

降本增效 以人為本

初來乍到的派瑞特種氣體無疑是初生牛犢，國產高純三氟化氮的閃亮登場雖引來“高光”無數，然而若想與國際高手長期同臺競技卻絕非易事。產業規模、生產成本、人才水平等諸多實實在在的差距使生產成本起初難以與同業對手相比擬，上市之初還能保持較好的利潤，然而由三氟化氮消費需求帶動產能的增長也非常迅速，好景不長，2005年，三氟化氮產品價格開始走低；2007年，國外三氟化氮生產巨頭率先發起價格戰，三氟化氮售價大幅下降，多數廠商的售價都逼近了成本邊緣。

以降低成本為目標，有些企業選擇裁減人員、使用廉價原料、甚至降低產品品質的方式來實現，七一八所選擇牢牢抓住以人為本的核心，逐步完善與發展相適應的管理制度，最大限度激發調動全員的創新活力，扎扎實實地將降本增效工作落到實處，連續多年成本降幅在一成以上，硬生生將成本從劣勢做成為又一核心競爭力。

薪酬體系的變革取得了最明顯的效果。通過將長期開展的工藝、質量、操作技能等職業教育培訓成果與工資等級掛鉤，定期開展晉級和保級考試：職工每通過相應職級的考試便可晉升職級，體現在工資回報中，保級考試制度則有效杜絕了“不思進取”和技能退化的現象，建立了能上能下的薪酬體系；績效方面，將獎金與若干主要效益參數直接掛鉤；加大對創新成果、技改措施獎勵的力度：凡有對優化工藝、降本增效等改善投入產出和效率的技改措施予以表彰獎勵。如此一來，職工從技改成果中不僅可以獲得一次性獎勵，提升的生產效益也將長期體現在績效收益中。制度的完善使員工收益與企業效益緊密聯系在一起，大到設備的穩定運行、小到參數的輕微波動都與職工的收入息息相關。

再好的制度沒有公平嚴格的尺度也很難發揮積極的效果。起初個別職工對新制度較為抵觸，有的考試差幾分不夠晉級來找領導說情，管理人員頂住壓力，一次都沒有變通；獎勵上堅持用數據說話，產率提高多少、效率提升多少，必須看得直觀、說的明白。時間久了，大家對制度的公平和權威有了認可，提高收入也找到了明確的方向，漸漸地，傳統企業那種“好往領導身上使勁”現象減少了，為改進效益而刻苦鉆研的員工多了，大家都朝著提高交貨量和投入產出使勁，思想高度統一。

采訪中，筆者曾詢問主管生產的負責人通過哪些改進降低了成本。思維片刻，他不好意思地笑著說：“真的不好說，太多了，如今創新和技改不僅僅是科技人員關注，一線職工的熱情同樣高漲。職工的效益觀念變強了，一方面不斷通過學習培訓自我提升，同時也在用新的知識改進生產，每位職工都變得善于思考，不懂就學就問。各類技改每年多達幾十項，大大小小匯集起來能降低成本一成以上，生產線整體已進入第四代工藝水平。近兩年成功引入了ERP和OA系統，全員參與下效率提高顯著，有的車間原先需要十多個崗位，現在只要四個就夠了。如果讓三四年前的工人一下子穿越到現在，可能操作起來都無從下手。成本是我們的優勢，優勢的核心其實是人。”

諸如此類的管理提升還有很多。幾年間，七一八所特氣產業在激烈的外部競爭環境中始終保持著內部的良性運轉，職工的素質、貢獻和收入不斷提高，勞動的強度卻不斷降低。數據顯示，七一八所特氣產業人均收入年均增長15%，人力成本占產值比重逐年下降15.3%，人均GDP年均增幅39%，已達到世界先進企業水平。2013-14年，三氟化氮等特種氣體在市場需求強勁增長的態勢下，卻因競爭激烈導致了美日韓三國的生產企業出現不同程度的產能調整。派瑞（PERIC）特種氣體，憑借不斷優化的生產工藝和日漸成熟的精益管理，將生產成本牢牢壓在市場售價之下，始終保留了合理的利潤空間，延續著滿產、擴產的良好狀態。經歷了市場競爭戰火的洗禮，卻換得百煉成鋼之身，在當前國家工業深度調整的發展格局中，依然取得傲人的成績。

立志高遠 追逐夢想

“特氣人”憑借軍工人不怕吃苦，敢為人先的拼搏精神，在高純電子氣體領域不斷求真探索，與高手共舞。他們深深明白，要想在特種氣體領域不受制于人，除了要不斷依靠創新完成自我超越，還要責無旁貸地擔當起推動高新科技產業發展的重任。當前，中國已經成為全球最大的集成電路市場，然而國產芯片仍面臨自給率嚴重不足的尷尬境地，2014年中國集成電路進口遠超石油成為第一大進口商品，達到2865億美元，進出口逆差達上千億美元。國產芯片的制造工藝水平相對落后，高端芯片及高純電子特種氣體幾乎全部依賴進口，難以對構建國家產業核心競爭力、保障信息安全形成有力支撐。

在嚴峻的發展形勢和緊迫的國產化需求下，2013年1月，由第七一八研究所牽頭，聯合相關單位承擔的“高純電子氣體研發及產業化”項目，正式立項列入國家“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家重大科技專項(簡稱02專項)。該項目主要研究開發集成電路制造工藝用特種氣體制備關鍵共性技術，有望從根本上改變當前我國高純電子氣體嚴重依賴進口的現狀，完善半導體產業鏈，有力推動我國半導體行業技術的整體進步。七一八所牽頭承擔28項高純電子氣體和高純電子混合氣的研制任務，大多數氣體是過去沒有步足過的，科技工作者夜以繼日攻關不綴。截止目前，研制工作已經取得階段性成果；多數氣體已經完成樣品的制備。

2015年5月，中國船舶重工集團公司董事長胡問鳴親臨七一八所視察工作時曾給予這樣的評價：七一八所是集團公司軍民融合產業發展的典范。以高純三氟化氮電子特種氣體為代表的民品科技產業，依托軍工科技力量，結束了我國長期依賴進口的歷史，一舉站在了世界高度，為國家科技強國戰略提供了有力支撐；主持著國家02科技重大專項“高純電子氣體研發及產業化”課題的實施，要繼續圍繞國家戰略深入推進軍民融合，強化創新驅動，致力為中國制造2025打造堅實的發展基礎。

放眼未來，腳下的征程依然漫長?！疤貧馊恕币堰~開腳下堅實的步伐，向著建設“國家高純電子氣體工程技術研究中心”，建成我國最大、世界一流高純電子氣體產業基地，打造國際知名的特種氣體供應商的夢想，奮發前行，矢志不移。

（作者單位：中國船舶重工集團公司第七一八研究所）