國產IC光刻系統精密紫外反光鏡研制成功
2015-01-10 15:19:30機經
軍民兩用技術與產品 2015年15期
國產IC光刻系統精密紫外反光鏡研制成功
沈陽儀表科學研究院經過2年多的技術攻關，成功研制出了擁有自主知識產權的集成電路（IC）光刻系統精密紫外反光鏡產品，其關鍵技術指標達到國際先進水平。
該IC光刻系統精密紫外反光鏡產品可耐450℃高溫，利用自主研發的新工藝實現了非球面成形。其反射波長范圍為300nm～440nm，反射率大于95%，達到了反射紫外光并濾除其它可見光的目的。據悉，該產品的成功開發，填補了該項技術的國內空白，標志著沈陽儀表院在精密非球面加工和檢測技術、非球面耐高溫薄膜鍍制等方面取得了技術突破，將有力推動我國光學薄膜行業的技術進步。目前，該院已形成口徑55mm～362mm系列精密紫外反光鏡產品，還將推出645mm大口徑產品。 (機 經)
猜你喜歡
工業設計(2022年8期)2022-09-09 07:43:20
現代裝飾(2022年4期)2022-08-31 01:39:32
現代裝飾(2022年3期)2022-07-05 05:55:06
軍民兩用技術與產品(2021年10期)2021-03-16 06:05:30
北京測繪(2020年12期)2020-12-29 01:33:58
裝備制造技術(2019年12期)2019-12-25 03:06:46
中國洗滌用品工業(2019年4期)2019-05-11 09:27:34
家庭影院技術(2017年9期)2017-09-26 03:41:45
Coco薇(2015年1期)2015-08-13 02:23:50
玩具(2009年10期)2009-11-04 02:33:14
