垂直結構Zno薄膜晶體管制備與工作特性
2015-01-04 13:36:07朱敏等
哈爾濱理工大學學報 2014年3期
朱敏等
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優勢正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點。endprint
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優勢正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點。endprint
目前，透明氧化物基薄膜晶體管（TFTs），如znO-TFTs和非晶In-Ga-zn-O等，由于它們具有透明、高性能以及可以在低溫條件下制作在柔性襯底上等優勢正成為下一代薄膜晶體管研究的熱點。endprint
