不同襯底溫度對Zno薄膜結構和光學性質的影響
2014-06-23 17:28:59賈相華黃海亮付斯年朱瑞華左桂鴻
哈爾濱理工大學學報 2014年1期
賈相華 黃海亮 付斯年 朱瑞華 左桂鴻 曹洪忠 李月英
摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結構、光致發光性能的影響，結果表明：所有樣品均呈現ZnO六角纖鋅礦結構且具有高度c軸擇優取向；ZnO薄膜在可見區的吸收系數很小，在紫外區有很高的吸收系數；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發射。
關鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發光譜
摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結構、光致發光性能的影響，結果表明：所有樣品均呈現ZnO六角纖鋅礦結構且具有高度c軸擇優取向；ZnO薄膜在可見區的吸收系數很小，在紫外區有很高的吸收系數；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發射。
關鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發光譜
摘要：利用磁控濺射在玻璃基片上制備了不同襯底溫度下的ZnO薄膜，借助X射線衍射儀（XRD）、吸收光譜、光致發光譜（PL）等手段研究了襯底溫度對ZnO薄膜的微結構、光致發光性能的影響，結果表明：所有樣品均呈現ZnO六角纖鋅礦結構且具有高度c軸擇優取向；ZnO薄膜在可見區的吸收系數很小，在紫外區有很高的吸收系數；室溫下的熒光光譜顯示薄膜具有較強的紫光發射。
關鍵詞：ZnO薄膜；襯底溫度；光致發光譜
