雙目顯微系統光路偏轉與平行性檢測

徐 鹍，韓 森，張齊元，謝 翔，張中華，劉文濱，聶英華，吳泉英

（1.蘇州慧利儀器有限責任公司，江蘇 蘇州215123；2.蘇州科技學院，江蘇 蘇州215000；3.上海理工大學，上海200093；4.六六視覺科技股份有限公司，江蘇 蘇州215000；5.黑龍江省計量檢定測試院，黑龍江 哈爾濱150036）

引言

隨著現代科學之高速發展，雙目系統已經滲透到各個學科領域，從顯微鏡、望遠鏡到機器視覺、人工智能，高性能復雜結構雙目系統層出不窮，這同時也給系統檢測提出了新的挑戰。如何高效地檢測系統，評估其整體性能的優略，在研發和生產中起著至關重要的作用。好的檢測方法在檢測出性能指標的同時，還可以通過對檢測結果的分析，逆向優化雙目系統的設計和裝配［1］，找到提高系統性能的突破口。現今的雙目系統光學檢測方法按檢測光束寬度可以分為寬光束檢測和細光束檢測。寬光束檢測主要是檢測系統的波像差及光學元件的面形誤差［2－3］，測試精度高，信息量大，內容豐富全面，可以反映大空間尺度內系統的綜合屬性。但其檢測儀器價格比較昂貴，檢測過程較復雜，而且不易找到系統病癥之部位。細光束檢測主要是檢測系統的光路特性。文中通過使激光束從待測系統的入射端入射，觀測研究反射光線和出射光線的位置和方向，檢測了待測系統的光路偏轉和平行性，分析了造成光路偏轉和不平行的原因。

1 系統組成

待測雙目系統如圖1所示，文中主要檢測了虛線框中的部分系統。其中各字母不僅僅表示光學元件，而是代表由光學元件和其機械結構組成的整體元件。……