臺槽刻蝕對埋柵型靜電感應晶體管特性的影響
2012-04-12 00:00:00朱筠
現代電子技術 2012年8期
摘 要：對埋柵型SIT，為切斷柵極和源極（或陰極）之間在外延過程中形成的連體，打開柵電極區，進行外延后的臺面刻蝕，對臺面刻蝕的深度和形狀進行研究；為消除柵墻外劃片邊界造成的各種寄生效應，在有源區的外面挖深槽，以保證柵源擊穿發生在內部、實現擊穿接近理論值。對先刻蝕臺面還是先刻蝕槽的問題做了實驗對比，結果發現先臺后槽更有利于器件特性的改善。
關鍵詞：埋柵型SIT； 臺面刻蝕； 深槽刻蝕； 先臺后槽
中圖分類號：TN91134 文獻標識碼：A 文章編號：1004373X(2012)08
